►产品介绍

德国弗莱贝格仪器的MDPinline ingot（MDP晶锭在线面扫检测仪--进口少子寿命测试）系统是快速多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里测量其四面。所有的图谱(寿命，光电导率，电阻率)都可以同时进行测量。

MDPinline ingot（MDP晶锭在线面扫检测仪--进口少子寿命测试）系统包括一个数据库和相关的统计数据评估，可自动确定准确的切割位置，以提高成品率。主要用于材料质量监控，炉选择和工艺改进。

►性能

 --无接触、无破坏的半导体特性

 --少数载流子寿命的检测能力

 --*的灵敏度让所有隐形缺陷可视化

 --自动切割标准定义

 --获取体材料性质的稳态测量

 --*自动化的内联集成

 --对太阳能级硅錠进行扫描，1mm分辨率

 --测量时间:1分钟内完成晶锭的面扫描，可自动测量所有4个面

Automated determination of cut off criteria

►优势

 --保持着*光伏晶圆厂多晶硅晶锭在线特性快速检测的世界记录。

 --在1分钟内完成分辨率大于1mm成像扫描测试，同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的

 --线扫描测试。客户定义的切割标准可以传输到晶圆厂数据库，该数据库允许对下一代光伏晶圆厂进行*自动化的材料监控。

 --对炉料进行质量控制和炉况监测，并进行失效分析。特殊的“underneath the surface”测量技术大大减少了表面重组造成的数据失真。

►技术参数