Unique automationswith highest accuracy and stability

具有最高的准确性和稳定性的*自动化系统。

模块化，自动化，易于使用

宽位移范围，4nm的分辨率的闭环控制

超稳定的平滑运动，任何速度下最小的振动。

uMs-FN1带有自动对焦和2位物镜改变器的立式显微镜

显微镜：Nikon FN1定制

焦距范围：40mm

分辨率/重复性：4nm/100nm

尺寸：428 x 170 x 351 mm

带透射光的底拖可拆卸

uMs-MCU 控制器

控制uMs-MXY，uMs-FN1 focus和 uMs-OBJ

以太网连接

尺寸: 150 x 74 x 49 mm

Motorized XY-stage马达控制移动平台

位移范围: 120 x 85 mm range

分辨率 / 重复性: 4 nm / 100 nm

最大移动速度: 10 mm/s

安装机械手数量：1-8