一、用途

　　硅外延用氢气纯化器引进*技术，为国内各企业生产的硅片提供了高效有力的支持，氢气的纯度直接影响硅片的质量，硅外延氢气纯化器利用钯扩散原理是氢气纯度提高到99.9999%以上，从而有效提高硅外延的质量，钯扩散提氢成为氢气纯化当中较好的，为各大专院校、科研单位、石油化工、轻工、电子、制药、环保监测、医疗卫生等单位，化验室、实验室、分析室，提供粗氢精制成高纯氢而研制的一种数控钯扩散纯仪。

　　二、主标要技术指标：

　　氢气纯度：99.9999%，

　　大纯化量：5-15立升/分钟

　　原料氢压力：≤0.8MPa

　　纯化氢压力：可调

　　原料氢含氢量：不小于50%

　　高使用温度：≤400℃

　　三、工作原理

　　氢分子和氢原子是所有化学元素中zui小的分子和原子，如把钯的单晶结构考虑成为面心立方体，立方体的八个角为八个钯原子所占有，六个面的中心部分为六个钯原子所占有，在这个钯原子的密集堆积中，只有在钯管表面能发生离解的氢原子才能通过，而其它元素的原子和分子，其直径都大于钯原子密集堆积的间隙，故不能通过。钯扩散法纯化氢就是利用这个原理，扩散透过钯管的氢，其纯度*。

　　四、硅外延用氢气纯化器注意事项：

　　在使用时，装置应放在通风良好，坚固平坦的工作台上，以防震动，切忌室内氢含量达到燃烧或爆炸极限（不能高于4%），本仪器的控温部分设有超温报警功能，当温度超过所需温度时，会发出报警声，应立即停机检查，以防炉内温度过高而烧坏钯管，本仪器使用前必需用原料气作置换系统后，才能通电，以防系统内置换不干净，形成易燃易爆的H2—O2混合气。