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产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用:CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
设计特点:
-刚性金属结构
-流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
-大压力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦气
-NIST系统标定可追踪的证明
-可倾斜的LCD读表
-0-5Vdc或4-20mA信号输出
-电路保护
-可用作便携式的设备
-0到100%比例显示
-可配备流量计算机