SPM检测仪表是指扫描电子显微镜，它是一种高分辨率的显微镜，可以在纳米级别下观察物质结构和表面形貌。它的工作原理是通过扫描电子束在样品表面的反射及散射来观察样品的表面形貌，从而获取样品表面的三维形貌和化学组成等信息。  

使用操作步骤如下：  

1.准备样品：将需要观察的样品放在样品台上，并调整样品的高度和位置，确保样品表面与电子枪之间的距离适当。  

2.开机预热：按下开机按钮，开机预热约10-15分钟，待仪器稳定后方可操作。  

3.调整电子枪：通过电子枪的调节，使电子束能够准确地照射到样品表面，并调整电子束的扫描方式和扫描范围。  

4.设置参数：根据实际需要，设置相关参数，如电子束能量、检测模式、扫描速度、扫描范围等等。  

5.开始检测：点击开始检测按钮，扫描电子束开始在样品表面扫描，并将扫描到的图像实时传输到计算机中。  

6.分析结果：根据图像分析结果，可得出样品表面的形貌、尺寸、形态、微观结构和化学组成等信息，进行相关分析和研究。  

维护事项如下：  

1.仪器常规保养：定期清洁仪器内部和外部的灰尘与污垢，保持仪器干燥，避免仪器过度潮湿。  

2.仪器运行状态和功能检查：定期检查仪器的运行状态和功能是否正常，如电源电压、电影疑阵、电极接触等等。  

3.样品处理：在样品上涂敷导电剂，避免样品出现电磁干扰、电荷积累等现象，影响检测结果。  

4.精确调节扫描参数：根据检测需要，调节仪器扫描参数，如扫描速度、扫描范围等等，尤其是在复杂的样品检测中，这一步很重要。  

以下是可能出现的SPM检测仪表故障：  

1.电源故障：仪器无法启动或无法充电，可能需要更换电池或检查充电器。  

2.仪器显示不清晰：可能是显示屏幕出现问题，需要更换屏幕或清洁屏幕表面。  

3.测量数据不准确：可能是测量头出现问题或者连接不稳定，需要重新连接或检查测量头状态。  

4.操作按钮故障：操作按钮可能损坏或者出现接触不良，需要更换或修理。  

5.数据传输失败：可能是仪器与计算机连接不良或者软件出现故障，需要检查连接状态或重装软件。  

解决方法：  

1.电源故障可以通过更换电池或检查充电器来解决。  

2.如果显示不清晰，可以更换屏幕或清洁屏幕表面以提高显示效果。  

3.如果测量数据不准确，可以重新连接或检查测量头状态。  

4.操作按钮故障可以通过更换或修理操作按钮来解决。  

5.如果数据传输失败，可以检查连接状态或重装软件来解决。