PI(Physik Instrumente)六轴精密压电平台

：PI(Physik Instrumente)
公司简介：
   德国PI公司是运动和定位领域的解决方案供应商。
   PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

产品应用领域：
半导体制造
医学工程
生物技术
工厂工程
表面计量
天文学

产品系列：
纳米定位压电弯曲平台

微型平台

线性平台

线性执行器

旋转平台

XY位移平台

六足位移台

设计系统

快速多通道光子学对准

P-587 六轴精密压电平台

§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 扫描

§ 线性行程为800 微米×800 微米×200 微米

§ 大旋转角度达1微弧度

§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度

§ 电容式传感器带来gao线性度

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

§ 六 自由度主动补偿

应用领域

§ 干涉测量

§ 计量

§ 纳米压印

§ 半导体测试

§ 半导体制造

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。

PI(Physik Instrumente)六轴精密压电平台