PI-P-753 LISA线性促动器和平台

应用领域

§ 扫描显微镜

§ 测量技术

§ 测试程序和质量保证

§ 光子

§ 光纤定位

订购信息：

P-753.21C LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，25微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-753.31C LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，38微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 线性定位器，真空兼容达10-9百帕

P-753.1UD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，12微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-753.2UD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，25微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-753.3UD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，38微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

PI-P-753 LISA线性促动器和平台