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真空系统订制与搭建要素:
1.真空度:
真空系统应当使被抽容器中能达到工艺过程所要求的真空度,并其有较高的极限真空。为此,真空系统应有较好的密封性能,放气源要少,放气和漏气率要小,真空泵的抽速要足以能维持工作室内所需的真空度。在真空设备中,工作真空度的高低将直接形响真空工艺的质皿,而它又紧密依核于真空系统的形式、真空泵的选择及抽气系统的设计。真空度的要求。
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2,.抽气速率:
真空系统应保证被抽容器内能维持必要的真空度而需要的抽速,取决于被抽容器的体积及漏气、放气和真空元件的通导能力等。因此,必描选择合适的导管、阀门和连接方式。在真空系统中,导管、阁门、挡板等的流导是有限制的,它们的存在总要降低泵的有效抽速。一般希望泵的有效抽速能达到20-60%,以保证泵在较短时间内使工作室达到所播真空度。
3.抽出介质:
真空系统在所抽出的物体中有没有腐蚀性气体,有无水气、有无粉尘与粒颗。系统组件的配攀应合理,抽气时间短,生产率高,有较好的经济效益.几种抽气系统的方案,它们分别在不同的条件下采用。提高生产效率,又能合理达到客户的需求。
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