主要功能：

LPC-100设备具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点。 其配备RF射频电源所产生等离子体对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。能够清除样品表面的有机污染物，处理速度快、清洗效率高。 

绿色环保、不使用化学溶剂、对样品和环境无二次污染。在常温条件下进行超清洗，对样品非破坏性处理。

技术参数：

型号规格：LPC-100

反应舱规格：Φ165×L210mm（石英材质）

反应舱有效容积：4.5 L

输入电源：220V/50Hz

整机输入功率：100W

射频功率：0～100W（连续可调）

射频频率：13.56 MHz

常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体等。

整机规格：500×250×300（长×宽×高）mm

整机重量：25 Kg

射频电源参数：

信号频率：13.56MHz+/-0.005%

功率输出范围：100W

最大反射功率：

射频输出接口：50Ω，N-type,female

功率稳定度：+/-0.1%

谐波分量：≤-50dbc

整机效率：单相交流（187V-253V）频率50/60HZ

整机效率：≥70%

功率因素：≥90%

冷却方式：强制风冷