本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：需要选配冷水机

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

主要特点

1、双层壳体，配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，环保节能。壳体温度<70℃。

2、滑轨式结构，方便取放样品以及快速冷却。

3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

4、采用PID控制器，可以设置30段升降温程序。

技术参数

1、电源：单相220V/380V 8KW

2、石英管：外径80mm，内径70mm，长1500mm

3、加热元件：Ni-Cr-Al电阻丝

4、加热区域：400mm

5、恒温区域：200mm

6、工作温度：≤1100℃，连续工作400℃-1000℃

7、升降温速率：≤10℃/min

8、控温精度：±1℃

9、真空度：10^-2torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）

10、热偶检测真空接口：KF-25口：1个

11、进气接口：2路（可根据客户要求设计多路进气），精密不锈钢针阀密封

12、炉体：1300mm×680mm×920mm

13、滑轨：600mm

产品规格

尺寸：1780mm×1780mm×1650mm；重量：354kg

标准配件

1

石英管堵

1个

2

KF-25真空挡板阀

1个

可选配件

1、软件接口

2、K型热电偶（用于对炉膛温度校准）

3、冷水机

4、高速双极旋片泵

5、数显真空计

6、高真空机组（机械泵和涡轮分子泵）

5、质量流量供气系统

6、石英样品架

7、可移动炉架（800mm×600mm）