Agilent/安捷伦 品牌
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Turbo-V 3K-G(如 V 2K-G 一样)不仅仅是一台泵。它是专门为等离子溅射工艺精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以工作在高纯氩气氛围下和温度*的环境中。此外,它还拥有内置的控制器件、一体化的放空和吹扫阀以及免维护的轴承。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 3K-G 涡轮分子泵成为镀膜工业出色泵解决方案。
美国安捷伦Turbo-V 3K-G涡轮分子泵特性:
1,“一体化”系统
2,同类产品中抽速高
3,无油、耐用、可靠
4,MTTF 超过 200000 小时
5,转子设计大幅度降低了重量和机械应力
6,拥有zhuanli的转子轴配合技术可大大降低转子拉伸应力
7,采用了安捷伦 A-PLUS 软件(原 T-plus)
涡轮分子泵应用范例:
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵,其设计旨在实际应用中达到稳定性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护,并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商,安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持,或定制适合您的需求的系统
美国安捷伦Turbo-V 3K-G涡轮分子泵技术规格:
抽速: | N2:2200 L/s | He:1900 L/s | Ar:2050 L/s |
压缩比: | N2:> 1 × 107 | He:6 × 103 | Ar:1 × 108 |
极限真空*(使用推荐的前级泵) | < 1 × 10-8 mbar | ||
入口法兰 | ISO 250F | ||
前级管道法兰 | KF 40 NW | ||
额定转速 | 31800 rpm | ||
使用推荐前级泵,无气体负载的启动时间 | < 6 分钟 | ||
前级压力 | < 0.5 mbar | ||
推荐的小前级泵 | > 60 m3/h(取决于气体流速要求) | ||
工作位置 | 任意位置 | ||
冷却要求 | 水 | ||
重量 ISO (250) | 52 kg(114.63 磅) | |