透射电镜液体电化学原位系统是一种集成了透射电镜(TEM)技术与液体电化学测试环境的设备。

　　本公司提供的透射电镜液体电化学原位系统的技术有：

　　1、采用纳流控技术，通过压电微控系统进行流体微分控制，实现纳升级微量流体输送，原位纳流控系统及样品杆中冗余的液体量仅有微升级别，有效保证电镜安全。

　　2、采用高分子膜面接触密封技术，相比于o圈密封，增大了密封接触面积，有效减小渗漏风险。

　　3、采用超高温镀膜技术，芯片视窗区域的氮化硅膜具有耐高温低应力耐压耐腐蚀耐辐照等优点。

　　4、多场耦合技术，可在液相环境中实现光、电、热、流体多场耦合。

　　该系统的芯片封装采用键合内封以及环氧树脂外封双保险方式，使芯片间的夹层最薄仅约100~200nm，超薄夹层大幅减少对电子束的干扰，可清晰观察样品的原子排列情况，液相环境可实现原子级分辨。