Agilent VacIon Plus 复合离子泵

Agilent VacIon Plus 复合离子泵

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2019-01-11 09:54:13
576
属性:
产地类别:进口;产品类型:有油泵;价格区间:10万-20万;仪器种类:溅射离子泵;
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产品属性
产地类别
进口
产品类型
有油泵
价格区间
10万-20万
仪器种类
溅射离子泵
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杭州景程仪器有限公司

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产品简介

Agilent VacIon Plus 复合离子泵集成了钛升华泵技术,能够实现超高真空。钛升华泵 (TSP) 能够以*的抽速抽取活性气体,而离子泵适用于氩气和甲烷等非活性气体。可以将 TSP 添加到离子泵的内部,或者将其作为一个独立的抽气单元。

详细介绍

Agilent VacIon Plus 复合离子泵配置适用于VacIonPlus150、300或500,并包含圆柱形低温板、在外侧或底部额外安装的8英寸ConFlat法兰接口以及一个安装至该接口的TSP升华源,以额外提供高抽气速度。
安捷伦提供两种肽升华泵:钛丝源和钛球源。灯丝型TSP源在两次升华之间可以关闭,因此可以避免气体在高温下逸出。球型TSP源含有更多的钛,在需要钛较多(例如较高的操作压力)的条件下,可以使用更长的时间。

 

Agilent VacIon Plus 复合离子泵功能:  

1.活性气体进入到圆柱形低温板底端并与刚沉积的钛结合  

2.液氮将低温板冷却,可提高吸收过程的效率并大幅提高对水蒸气的抽速  

3.低温板可安装在泵的底部或侧面,当高度有*可灵活配置

4.还提供定制化的配置  

 

技术规格:

 

钛升华泵 (TSP)

功能

TSP 泵芯

常用的 TSP 升华源安装在 2.75 英寸的 ConFlat 法兰上,包括三根钛钼丝,每根钛-钼丝上有 1.1 g 可用的钛。升华源组件可耐受 400 °C 的烘烤。在 300 瓦电源供电下升华率可达到大值。

 

外形图:

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