XRF光谱仪的使用注意事项： 
1、 为了保持仪器的良好外观，需经常对仪器表面做清洁工作，用软布擦拭灰尘。
2、 向样品腔内放样品时，一定要注意清洁，不可使样品尘粒掉入其中，否则会污染X光管和探测器窗口，造成测量失准和探头损坏。 
3、 样品盖需要用酒精棉球做好清洁工作。 
4、为使仪器能工作正常，需定期对各项参数进行测试，并进行调整。
5、 仪器只允许经培训的人员才能操作，其他人员一律不能操作。 
6、 使用、保存和搬动中，要特别小心，以免磕碰、损伤外表、损坏内部线路。 

XRF光谱仪的测试过程：
测试过程包括仪器的准备、待测试样品的制备上机以及进行校准，必须有相应的操作说明。还要注意所使用仪器的局限性，例如有些型号的仪器对面积非常小或厚度较薄的样品不能检测或是不能定量，对这种情况就要求操作者小心处理并要详细记录，以合理的解释终测试结果。
测试前需要对仪器进行优化，仪器性能的确认：每种分析物的灵敏度、光谱分辨率、检出限、适用的面积大小、样品制备及测试的可重现性、校准方法的性。
灵敏度是区别不同仪器的性能和确保采用的校准是否有意义的重要指标；光谱分辨率是确保数据收集和校准时被分析物和干扰谱线能被正确的区分并处理的重要指标；检出限即为三倍重复测试的标准偏差（不少于7次测量，置信区间为95％）；适用的面积大小决定了实际的待测试部分是什么；XRF光谱仪测试过程中，样品制备及测试的可重现性是证明测试方法可控的一个重要参数。