近年来，X荧光光谱仪在各行业应用范围不断拓展，已广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域，特别是在RoHS检测领域应用的为广泛。用于测定周期表中多达83个元素所组成的各种形式和性质的导体或非导体固体材料，其中典型的样品有玻璃、塑料、金属、矿石、耐火材料、水泥和地质物料等。凡是能和X射线发生激烈作用的样品都不能分析，而要分析的样品必须经受在真空环境下测定，与其他分析技术相比，具有分析速度快，稳定性和精密度好以及动态范围宽等优点。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。

X荧光光谱仪测试时如何建立标准样品？
1、根据用户需要，不断扩充标准样品种类，并对应材料使用者进行对应的物料编号或使用用户编号，使操作员能使用对应的标准曲线进行该类材料的检测。 
2、同类别的材料再按其基材和主要组份分类。
3、确认归一化的材料的组份差别控制在可容许范围内，并确认其中应无影响谱线的不确定特征干扰元素出现，或者按照供应商进行分类。
4、先将用户要检测的样品材料进行分类，将不同材质的样品分成不同类别。
5、在1-4步基础上(用户可根据自己需要的度和可操作性选择进行到那一步)后细分的类别，使用ICP_OES和GC_MS等仪器对其中的主要组份、相关组分和待测组分进行定量分析。并根据待测组分的含量情况可以人为添加一定量的待测元素，为了添加的元素的状态稳定，应尽量添加其稳态化合物。以此建立给分类材料的标准样品，并使用该标准样品在X射线荧光光谱仪上建立标准曲线。 
6、同基材的材料按照其主要组份进行归一化分类。