日本雅玛拓C1-007/C1-008厌氧高温气氛炉
C1-007（温度600℃、氧浓度20ppm）
● 用途：电子无器件高温处理工艺
● 高工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下
● 程序运转功能，有自动/手动两种操作模式
● 快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式
● 配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等
● 在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置

C1-008（温度500℃、洁净度100级、氧浓度20ppm）
● 用途：光刻工艺后段，光刻胶固化
● 高工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下
● 程序运转功能，有自动/手动两种操作模式
● 快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式
● 配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等全不锈钢材质
● 在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置

日本雅玛拓C1-007/C1-008厌氧高温气氛炉技术规格