实验室高纯气路管道系统应用及管道要求

气路系统主要用于处理高纯度气体或有毒气体和腐蚀性气体的控制设备，是方便于实验室供气及安全的气路系统。主要用于实验室、电子微电子、石油化工、太阳能、分析仪器、核电厂、生物制药、质监局、学校科研、原子吸收光谱法、废气分析、食品包装、海洋工业、医疗/工业激光工业等高科技领域。

　　1.管道、球阀、卡套和三通均为316L不锈钢;减压器为高纯气体减压器(不锈钢阀芯)，高压软管(连接钢瓶和母线)为不锈钢波纹管。高压软管的入口端设有单向阀，可防止钢瓶更换时软管内的气体泄漏，同时防止外界空气混入气路。

　　2.管道系统:所有气体管道均采用巴级316L不锈钢管，管道上有过滤杂质和水分的净化装置，使气体在循环过程中不会被管道系统污染，保证气体的纯度。同时，应有明确的标志来指示气体的流向。

　　3.管道连接:母线和端子部分通过卡套连接，便于减压器和阀门的维护和管理。

　　4.终端:每台仪表前应配备截止阀和二次减压器(每种气体一个)。截止阀用于控制每个气路的开启和关闭;当仪器需要调整和维护时，可以停止任何定仪器的供气。减压器用于显示和调节终端的压力。

　　1.不锈钢管外明内净是选，其次是铜管和塑料管。避免室外部件使用塑料管。

　　2.室内部件应尽可能使用不锈钢管。聚四氟乙烯管或聚乙烯管可用于特殊需要。

　　3.为了消除不必要的隐患，减少管道可能的泄漏点，建议使用超长不锈钢软管，容易弯曲和改变方向。有时，为了便于施工和设计，可以在管道中设置一些双通和三通接头。

　　1.高纯气体管道系统布置不同于普通气体管道。通常要求管道不应太长，并且不应有不容易清洗的死角，如“盲管”。主管或支管的末端应提供必要的排放口和取样口。在一些非连续使用的用户中，少量气体在管道末端连续排出，从而管道中的气体将正常流动，并且没有“死区”。根据工艺气体的质量要求，如有必要，还需要布置末端净化装置。一般来说，控制阀、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪器等。进入洁净车间的高纯度气体管道集中在气体人口室，便于统一管理和控制。

　　2.高纯气路管道及附件材料:高纯气体管道输送管道应根据工艺对气体纯度、允许杂质含量、颗粒含量等的不同要求，采用相应质量的管道。例如，半导体工业不仅需要清洁的生产环境，而且由于其复杂的生产过程和精细加工，对生产过程中所需的各种高纯度气体也有具体和严格的要求。从微米技术到亚微米和深亚微米(小于0.35um)技术，对气体中杂质含量和水分含量的要求非常严格，10-6 (ppm级)不能满足要求。需要达到10-9 (ppb级)甚至10-12(ppt级)，粉尘粒径需要控制在0.05-0.01 μm。因此，输送管道的管道材料特性必须满足高纯度和超高纯度气体的要求。

　　3.管道材料的特性对于输送高纯气体的管道，影响气体质量的管道材料的主要特性是透气性、出气率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蚀性。

　　外观检查

　　1.管道布线应水平、平直和垂直;管子固定牢固。

　　2.管道外表面无明显损坏。

　　3.每个阀件没有明显损坏。系统耐压试验如果管道在充满压力后变形(如起泡、扭曲、膨胀和其他现象)，这意味着系统不能在这种压力下工作。如果系统在此压力下长时间工作，系统将在变形位置爆裂，造成人身和财产损失。

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