离子清洗机活化系统

SPV50离子清洗机活化系统

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-11-05 13:19:00
1844
属性:
产地类别:国产;应用领域:环保,文体,能源,电气,综合;
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产地类别
国产
应用领域
环保,文体,能源,电气,综合
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苏州福佰特仪器科技有限公司

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产品简介

离子清洗机活化系统结构主要分为四大部分组成:控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、以及真空泵系统。

详细介绍

名   称:真空等离子清洗机

型   号:SPV50

品   牌:晟鼎

一、离子清洗机活化系统产品简述

(1.1)等离子清洗的作用等离子清洗的作用原理主要是:

(A)对材料表面的刻蚀作用--物理作用等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

(B)激活键能,交联作用等离子体中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的键能在0~10eV,因此等离子体作用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。

(C)形成新的官能团--化学作用如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应,引入新的官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。

(1.2)真空等离子清洗的优势等离子清洗作为重要的材料表面改性方法,已经在众多领域广泛使用。

与传统的一些清洗方法,如超声波清洗、UV清洗等,具有以下优点:

(A)处理温度低处理温度可以低至80℃、50℃以下,低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。

(B)处理全程无污染等离子清洗机本身是很环保的设备,不产生任何污染,处理过程也不产生任何污染。

(C)处理效果稳定等离子清洗的处理效果非常均匀稳定,常规样品处理后较长时间内保持效果良好。

(D)可以处理各种形状的样品对于复杂形状的样品,等离子清洗都能找到合适的解决方案。真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。

二、离子清洗机活化系统产品原理等离子清洗机的结构主要分为四大部分组成:控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、以及真空泵系统。

(A)控制系统:控制系统的功能在于控制整个设备的运行,包括人机界面(触摸屏)、PLC、电气电路。采用全自动控制系统的真空等离子清洗,可实现多种模式多种程序对清洗设备进行控制,满足不同客户的需求。

(B)激励电源系统:激励电源主要有三类:40KHz的中频激励电源,13.56MHz的射频激励电源,2.45GHz的微波激励电源。目前业界主要采用的是射频激励电源和中频激励电源。各自应用场合不同。

(C)真空腔体:真空腔体主要是分为三种材质的:1)铝合金腔体,2)不锈钢真空腔体,3)石英腔体。根据用户的不同需求,可实现不同的放电模式和适用不同的样品尺寸和产能。

(D)工艺气体系统:工艺气体包括流量计、气压阀等,用户可灵活选择多路的工艺气体方案,氩气、氧气、氢气、氮气、四氟化碳等,可满足不同工艺方案要求。清洗各种产品表面。

(E)真空泵:真空泵分为油泵、干泵、罗茨泵,油泵主要采用双级旋片泵,根据用户所采用的腔体体积、工作效率、环境要求来制定真空泵的方案。


四、技术规格

电源系统

晟鼎定制射频电源:频率13.56MHz;功率0~600W可调;

全自动真空电容匹配器

真空系统

晟鼎定制双级旋片泵(油泵):40m3/h,

真空计:日本英福康皮拉尼真空计

真空管路:全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管

腔体系统

(可定制)

铝合金真空腔体,高级焊接密封,25mm厚度

腔体内部尺寸:375×375×425mm(宽×高×深)

电极板布置方式:水平布置,可活动抽取

工作托盘:可选配

空间层数:6层

气体系统

气压阀,日本SMC

流量计,七星华创品牌,0~300SCCM

两路工艺气体:氩气、氧气

(氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳可选)

控制系统

PLC,德国西门子S系列

触摸屏,威纶通,七寸屏幕

电气部件:德国施耐德品牌

其它参数

外形尺寸:885×900×1576mm(宽×高×深)

重量:350KG

颜色:银灰色

五、性能优势

(1)电源:采用*高压激励电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果。

(2)全面安全防护:温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种误操作保护功能。

(3)放电技术:特殊处理及特殊结构的放电装置,确保形成稳定均匀的等离子体。

(4)密封性的真空腔体设计:高级的高真空度真空腔体设计及制造工艺,配置进口真空泵。

(5)优质产品部件:产品全部部件采用国内外优质部件,确保设备性能*

(6)超低清洗温度:满足不同场合温度要求,不对清洗产品造成温度影响。

(7)精密数控加工:进口精密CNC数控机床加工工艺,并配备进口三坐标测量仪进行质量监控。

(8)适用形状复杂样品:清洗各种复杂形状的产品,包括内孔内壁,*均匀清洗

售后服务:

1、厂家货源正品  货源有保障,可以根据客户不同测试需求,提供不同测试方案。

2、关于售后4小时电话响应,24小时内安排上门服务。终生维护。

3、关于发货到款4-5天内到货,江苏、深圳区域第二天可以到货。

 

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