ESD防静电净化车间
无尘室净化系统又叫洁净室、ESD防静电净化车间，无尘车间是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等的污染物排除，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在的空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
无尘室净化系统的空气洁净度的三种状态：
●空态：设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。
●静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无人员。
●动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。
无尘室净化系统的气流流型：
●单向流……沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。
●非单向流……凡不符合单向流定义的气流。
●混合流……单向流和非单向流组合的气流。
无尘室净化系统的构架：
●结构系统……吊杆、钢梁、天花板格子梁、窗户、门等。
●空调系统……空气处理箱、过滤器系统、风机等。
●地板……高架地板或防静电地板等。
●照明器具……日光灯、黄色灯管等
