● 采用铸铝结构，使旋转更加稳定
● 真空吸盘可承载基片最大直径为12英寸
● 最大转速：3000RPM（针对12英寸基片）5000RPM（针对8英寸基片）
● 样品台上端有防护罩，以防止样品飞出
● 一个可摇摆机械手臂（可调节摇摆速度）安装在旋转涂层机上，此摇摆手臂上安装有超声喷头
● 仪器中配有一AP-1400V双极旋片无油真空泵（点击图片查看详细资料）
 

● 一超声雾化仪，两个超声喷头（可采用压缩空气助喷）
● 独立控制的两通道注射泵（被注射液体最大可加热到60℃）,此注射泵将于超声喷雾头相连接，将液体注入到超声雾化头中
 

72kg

● 旋转喷涂仪必须放到通风柜中使用，防止液体挥发到实验室中，（可在本公司购买通风柜）
● 为了获得最佳的涂覆效果，建议在涂覆之前对基片进行等离子清洗（点击图片查看等离子清洗机详细资料），采用等离子清洗后不仅可以清洁基片表面，而且可大大减小基片的表面张力