深圳科晶 品牌
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深圳市所在地
| 功能特点 |
|---|
支持注液前检漏和注液后检漏；
优化设计的质谱算法系统确保所有量程快速响应；
氦气惰性气体不腐蚀设备，提高使用寿命；
进口元器件，保证设备运行稳定性；
支持USB数据导出分析；
设备噪音低，功耗小。
| 技术参数 | |
|---|---|
| 电源 | 三相五线制AC380V±10%，频率：50HZ，功率：约5.5KW |
| 氦气 | 工业瓶装氦气 |
| 压缩空气 | 压力0.8Mpa |
| 设备效率 | >1PPM |
| 设备优率 | >99.95%（仅设备造成的不良） |
| 设备稼动率 | >98% |
| 最小可检漏率 | <5.0×10-13Pa*m3/s |
| 抽真空时间 | <8s |
| 腔体内真空度 | 20-40Pa之间可调 |
| 氦检过杀率 | <0.5% |
| 注氦压力 | 10±5Kpa可调 |
| 漏率检测范围 | 5.0×10-13Pa.m³/s -1.0×10-3Pa.m3/s |
| 氦检漏率 | 9.9×10-7Pa.m3/s |
| 设备尺寸 | 约L1720*W1300*H2400mm（不包含灯的高度） |
| 重量 | 约1500Kg |
MSK-TE501-H200 氦质谱检漏设备
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