日本喜开理CKD小型流量传感器产品特点：

洁净规格  标准备有防发尘包装（P70）、禁油规格（P80）  可根据装置的级别区分使用。  排气适用  不锈钢本体型在流路中不使用树脂，因此适于禁止排气的工序。

高精度・高响应  

重复精度 ：±1%F.S.以内  

显示精度 ：±3%F.S.以内  

响应时间 ：50msec

降低压力损失  通过流路再设计多降低50%

可进行双向流体测量  有效缩短生产间隔时间  可任意设定流向进行测量。

日本喜开理CKD小型流量传感器注意事项：

换算成标准状态（20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度65％RH）下的体积流量。 （空气以外的气体种类为20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度0％RH） 注2 ：各流量下的显示如下所示。

注3 ： 累计流量为计算（参考）值。使用累计值保存功能时，请注意保存次数不得超过保存元件的存取次数（极限值为100万次）。（各种设定的变 更也将被计为存取次数。） 瞬时流量在1％以下时，不会计为累计流量。

注4 ： 请使用不含氯、硫磺、氧等腐蚀成分的干燥气体，不含灰尘及油雾的洁净气体。使用压缩空气时，请使用JIS B 8392-1:2012 等级 1.1.1～1.6.2的清洁空气。来自空压机的压缩空气含有冷凝水（水、氧化油、异物等）。为了保持本产品的功能，请在本产品的一次侧（上 游）安装过滤器、空气干燥器（低压力露点10℃以下）及精密过滤器（大油份浓度0.1mg/m3）后使用。（请参阅第72页的推荐回路。）

注5 ：本产品的调整、检查过程中使用了压缩空气。对于空气以外的气体种类，精度仅供参考。

注6 ：精度以本公司的标准流量计为基准，并不表示精度。 精度±3%F.S.不包括重复精度、温度特性、压力特性。 请根据使用环境、使用条件另行考虑。

注7 ：短期的重复精度。不含经时变化。（详情请确认产品规格书。）

注8 ：实际响应时间根据配管条件的变化而改变。作为大致标准，响应时间的设定可从50msec～1.5sec中选择。

注9 ： 模拟输出电压输出型的输出阻抗约为1kΩ。连接负荷的阻抗较低时，输出值的误差会变大。请在对连接负荷的阻抗下的误差进行确认的 基础上使用。

注10 ：电压输出型与电流输出型的电源电压规格不同，敬请注意。

注11 ：连接DC24V、未连接负荷时的电流。消耗电流因负荷的连接状态而异，敬请注意。

注12 ： 可通过气体种类切换功能切换为氩气、二氧化碳、氩气80％＋二氧化碳20％。切换后的满量程流量、模拟输出如下所示。 （500L/min、1000L/min机型不具备气体种类切换功能，敬请注意。）

更多喜开理CKD产品咨询，请见：喜开理CKD小型流量传感器