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日本KURODA硅片平整度 / SORI 测量系统
用于成膜时的工序控制和卡紧时平整度控制
水平旋转、真空卡盘式φ300mm晶圆用表面形状检验装置。
边缘排除区小1mm,可进行盒至盒的SORI、平整度等高精度自动测量。
量程 | φ300mm |
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显示分辨率 | 10nm |
测头 | 非接触激光位移计 |
测量方式 | 水平旋转方式 |
日本KURODA硅片平整度 / SORI 测量系统
产品按照标准和生产,产品可满足用于石化、电厂等行业,同时根据不同的产品也适用于其他行业,改进和扩大提高了自己的产品供给,公司生产的测量系统,受到了本国和国内外客户以及市场的青睐,*设计,寿命超长,性能稳定,密封性强,精密铸造,外观精美。性质稳质,包装优良。
上海上海韬世自动化设备有限公司长期KURODA供应全系列产品,公司具有良好的市场信誉,专业的销售和技术服务团队,凭着多年经营经验,熟悉并了解市场行情,赢得了国内外厂商*好评。
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