日本KURODA硅片平整度 / SORI 测量系统

300PT日本KURODA硅片平整度 / SORI 测量系统

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-09-11 19:05:26
1448
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应用领域:地矿,建材,电子,交通,纺织皮革;
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地矿,建材,电子,交通,纺织皮革
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上海韬世实业发展有限公司

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产品简介

日本KURODA硅片平整度 / SORI 测量系统
用于成膜时的工序控制和卡紧时平整度控制
水平旋转、真空卡盘式φ300mm晶圆用表面形状检验装置。
边缘排除区小1mm,可进行盒至盒的SORI、平整度等高精度自动测量。

详细介绍

日本KURODA硅片平整度 / SORI 测量系统

用于成膜时的工序控制和卡紧时平整度控制

水平旋转、真空卡盘式φ300mm晶圆用表面形状检验装置。
边缘排除区小1mm,可进行盒至盒的SORI、平整度等高精度自动测量。

特点

显示・分析

nanometro_300PT_feature_001.gif

性能、规格

量程φ300mm
显示分辨率10nm
测头非接触激光位移计
测量方式水平旋转方式

日本KURODA硅片平整度 / SORI 测量系统

产品按照标准和生产,产品可满足用于石化、电厂等行业,同时根据不同的产品也适用于其他行业,改进和扩大提高了自己的产品供给,公司生产的测量系统,受到了本国和国内外客户以及市场的青睐,*设计,寿命超长,性能稳定,密封性强,精密铸造,外观精美。性质稳质,包装优良。

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