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光学3D表面轮廓仪显微镜系统轻松解决以上不足,*突破显微镜的光学 固有限制。可以在10秒之内得到样品的三维立体图像。可以轻松的对样品不同高度进行优质成 像,得到平面优质图片,继而构建3D模型,并通过智能测量模式,准确测量三维空间尺寸。在得到优质平面图像/3D图像的同时,本系统还提供共焦点云的全自由度模型三维观察使得用户能够从任意角度观察样品,系统通过一体化的设计,可以实现高速自动显微镜3D观察、测量。
光学3D表面轮廓仪显微镜技术要求
光源是数码成像的基础之一,正确匹配的照明模式是展现样品细节的必需条件,系统所采用的照明装置,均为机器视觉系统所用光源。具有光谱范围广,色彩真实,形态多样,长寿命(大于3万小时),根据不同用途,有多种结构设计,能组建复式照明技术,配合数字消光技术(HDR),能展现样品细节。
高精度压电位移平台实现纳米级运动:
全新的压电位移平台可实现纳米级高分辨率及精度、毫秒至亚毫秒级快响应速度、简便的控制方式、通过超薄的设计,减轻了整体重量,在运动中具有*准确性,与光谱共焦技术实现结合,可实行大范围精准扫描,得到计量级结果
光谱共焦技术具有*泛的材质适应性、稳定性、检测效率:
基于白光色散技术的光谱共聚焦镜头,具有广泛的测量适应性,除常规材料之外,即使在光滑的玻璃表面、研磨后的镜面材料,透明胶水层、薄膜材料均能实现有效的测量,其Z向分辨率可达到10nm以下,配合高精度的压电位移台,能对样品实现大面积准确轮廓测量。得到的轮廓模型更可与光学景深图像融合,最终得到计量级的彩色3D模型。
技术参数
PZ-CS3500H(手动) | PZ-CS3500A(全自动) | ||||||
光学系统 | 光学系统 | 无限远共轭防尘光学系统 | |||||
变焦倍率 | 12:1 超大变倍比 | ||||||
变焦方式 | 电动变焦 | ||||||
工作距离 | 80mm 标准1X物镜,24X-280时 | ||||||
倍数识别 | 自动识别放大倍率 | ||||||
显微相机 | 图像传感器 | 1/1.8英寸,高速彩色CMOS芯片,1000万像素 | |||||
帧速率 | 60帧/秒 | ||||||
图像分辨率 | 最高1000万像素(4400X2300) | ||||||
色彩还原 | 高性能色彩引擎Ultra-FineTM还原技术 | ||||||
HDR功能 | 支持 | ||||||
照明装置 | 视觉照明器 | 高亮度LED照明 | |||||
光源寿命 | 30000小时(设计值) | ||||||
照明方法 | 明场 | 标准 同轴光源模式 | |||||
暗场 | 单光源 常规观察模式 | 双光源系统 常规+深孔观察模式 | |||||
斜射 | 四分区照明模式(软件控制) | ||||||
偏光 | 标准(可选) | ||||||
微分干涉 | 标准 微分干涉需选择专用干涉镜头(可选) | ||||||
透射 | 标准(可选) | ||||||
聚焦与行程 | 聚焦方式 | 手动聚焦+自动聚焦 | |||||
电动行程 | 电动升降120mm,最大可观察150mm高度样品 | ||||||
观察角度 | 支座垂直与倾斜 | 垂直观察模式/倾斜观察模式(-90º- +90º) | |||||
平台旋转 | 载物平台360º旋转观察 | ||||||
倾斜角度显示 | 不支持 | 支持(可选) | |||||
光学物镜组 | 低倍观察物镜 | 1X标准物镜 工作距离90mm | |||||
手持观察物镜 | 0-250X放大倍率 智能显示倍数,接触式稳定观察 聚焦性质 :一键式自动聚焦功能 | ||||||
高倍观察物镜 | LY-LENS5X | LY-LENS10X | LY-LENS20X | LY-LENS50X | LY-LENS100X | ||
长工作距离 | 长工作距离 | 长工作距离 | 长工作距离 | 长工作距离 | |||
光谱传感器 | 白光干涉原理 | 0.1mm-25mm量程,最高分辨率0.2nm,多种型号(选配) | |||||
精密平台 | 行程范围 | 手动单模式 70mmX50mm | 双模式:手动70mmx50mm | ||||
平台精度 | 0.1mm | 压电位移台:50nm | |||||
承重最大值 | 2KG | 2.5KG | |||||
3D观测 | 3D超景深 | 单视野3D观测 | 单视野观测、3D拼接观测 | ||||
显示 | 分辨率 | 24寸显示器 1920X1080高清观察 | |||||