半导体电阻率测试仪 电阻测量仪

BD-86A型半导体电阻率测试仪是根据四探针原理，作为普及型半导体电阻率测试仪器适合半导体器材厂、材料厂用于测量半导体材料（片状、棒状）的体电阻率，方块电阻（薄层电阻）；也可以用作测量金属薄层电阻。经过对用户、半导体厂测试的调查，根据美国ASTM标准的规定，在电路和探头方面作了重大的修改和技术上的许多突破。它更适合于半导体器材厂工艺检测方面对中值、高阻硅、锗材料方块电阻和体电阻率的测量需要，成为普及型的电阻率测试仪，具有测量精度高、稳定性好、输入阻抗高、使用方便、价格低等特点。

仪器分为电气箱和测试架两部分，仪器电气箱由直流数字电压表、高抗干扰、高度隔离性能的电源变换装置，高稳定、高精度的恒流源所组成。测量结果由LED数字显示、零位稳定、输入组抗高，仪器并设有自校功能，在片状材料测试时，具有系数修正功能，使用方便、测试架结构新颖、外形美观，探针为合金材料，配用宝石导向，具有测量精度高、游移率小、耐磨和寿命长的特点，而且压力可调恒定，备有手动探针测试台，自动控针测试台，供用户选择。

 半导体电阻率测试仪 电阻测量仪

本仪器为国内*新研制出的普及型半导体电阻率测试仪器，特别适合于薄片材料测量。仪器主要技术指标

测量范围：电阻率 10^-3∽10³ 分辩率为10^-4Ω—cm，可扩展到10⁵Ω—cm

方块电阻 10^-2Ω/10⁴Ω/□，分辩率为10^-3Ω/□，可扩展到10⁸Ω/□

薄层金属电阻 10^-4∽10⁵Ω，分辩率为10^-4Ω—cm

可调半导体材料尺寸：直径：Φ15 ∽ Φ 100 mm

长度：150mm

3．测量方式：轴向、断面均可

4．数字电压表：（1）量程：20mV（分辩率：10μV）、

200mV（分辩率：100μV）、

2V（分辩率：1mV）、

  （2）测量误差：±0.3%读数±2字

  (3)输入阻抗:大于10⁸Ω

      (4)显示3 1/2位红色发光二极管(LED)数字显示,

0 ∽ 1999.具有极性、过载、小数点、单位自动显示

5．恒流源：由交流供电，具有良好的防泄漏隔离功能

直流电流：0 ∽ 100mA连续可调

量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

分辩率：10μA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

电流误差:（±0.3%读数±2字）

6.电性能模考核误差:<±0.3% 符合ASTM指标

7.测试探头:   （1）探针间距：S  =  1mm

                                （2） 探针机械游移率: ±0.3%  

（3） (3)压力恒定可调

8.电源:交流220V±10%  50HZ或60HZ  功率消耗 < 30W

9.电气箱外形尺寸:199×440×280mm