单温区PE-CVD系统
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TFE-1200-50-220单温区PE-CVD系统

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-07-29 16:35:01
1917
属性:
产地类别:国产;加热方式:电阻丝;价格区间:面议;控温精度:±1℃;内部尺寸:Φ80*220mmmm;升温速度(达到最高温):≤10℃//min;仪器种类:管式炉;应用领域:化工,能源,电子,冶金,综合;最大功率:3KkW;最高温度:1200℃;
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产品属性
产地类别
国产
加热方式
电阻丝
价格区间
面议
控温精度
±1℃
内部尺寸
Φ80*220mmmm
升温速度(达到最高温)
≤10℃//min
仪器种类
管式炉
应用领域
化工,能源,电子,冶金,综合
最大功率
3KkW
最高温度
1200℃
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安徽科幂仪器有限公司

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产品简介

单温区PE-CVD系统高性能射频电源.等离子体更稳定;滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.并可实现快速升温和降温功能;
与传统CVD相比较.生长温度更低

详细介绍

单温区PE-CVD系统

特点:高性能射频电源.等离子体更稳定;

滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.并可实现快速升温和降温功能;

单温区PE-CVD系统与传统CVD相比较.生长温度更低


技术参数



项目


型号
TFE - 1200 - 50 -  220 单温区PE-CVD系统


可达温度


1150℃(短期)


额定温度


1100℃


推荐升温速率


≤10℃/min


控制精度


±1℃


炉管尺寸


Φ30/50/60*1200mm


炉膛尺寸


Φ80*220mm


加热区长度


220mm


恒温区长度


80mm


加热元件


优质国产电阻丝


额定功率


3KW


供气系统


三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制)


射频电源


射频功:5-500W;射频频:13.56MHz;匹配方式:自动匹配


真空系统


双级旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等)


外形尺寸


1250*510*810mm




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