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等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固、液、气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。VPC100M真空等离子清洗机就是利用等离子体的活性组分的性质来处理塑胶工件,金属基工件,陶瓷、玻璃等工件表面,从而实现清洁、改性等目的。
工作原理:
等离子清洗机通过在高真空环境中形成等离子体,利用离子轰击的方式清洁工件表面。在真空环境中,通过加入工作气体并加热产生等离子体,离子轰击工件表面,剥离附着的污染物。此过程高效、无污染、无残留。
真空等离子清洗机*的清洁效果,成为现代工业生产的利器。它不仅能够提高产品质量,延长使用寿命,还能提高生产效率,降低环境污染。
仪器特点:
● 不锈钢腔体,具有良好的耐用性
● 电极板上下可调,适应各种大小的样品
● 一键启停,人性化设计,简单易学
● 结构稳定,密封性好
● 无材料二次污染和环境污染,效率大大高
● 采用13.56MHz射频电压,完成清洗去污的同时,还可以改善材料本身的表面性能
● 触摸按键,液晶显示屏+双浮子流量计精准控制,经济实用
应用领域:
● 半导体元件、印刷线路板的清洗、改性
● 高分子材料表面修饰
● 生物芯片、微流控芯片的清洗
● 各种形状的人工晶体、ATR元件、天然晶体和宝石清洗
● 光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片的清洗
● 各种陶瓷、金属基片上的残留凝胶等杂质的清洗
● 芯片、电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片等的清洗
● 各种医疗器材和仪器的清洗
技术参数:
腔体材质 | 316不锈钢 |
容积 | 10L |
电极板 | 平板水浴电极 |
电极 | 专用铝电极,上下间距可调 |
单次处理时间 | 工艺不同,处理时间不同,表面活化改性5~10分钟内 |
工作真空度 | 20~60Pa |
真空泵极限压力 | 0.5Pa(空载测试) |
抽真空时间 | ≤40秒(空载测试) |
破真空时间 | ≤20秒 |
等离子发生器 | 采用13.56MHz射频电源,功率0-300W可调,射频电源和阻抗器模块化设计 |
供气方式 | 电磁阀式 |
流量计控制 | 双浮子流量计 |
流量计调节范围 | 0~300ml/mi(可选) |
流量计精度 | 4% |
操作方式 | 人工取放工件,一键启动自动控制 |
额定功率 | 1kw |
机台供电 | AC-220V |
机台重量 | ≈130Kg |