XD激光干涉仪可以一次装夹测量六个参数包括定位精度、重复定位精度、直线度及角度。用于数控机床和三座标测量机的标定及校准。

1D激光干涉仪主要可以测量定位误差和重复定位精度

3D激光干涉仪可以测量定位误差、直线度误差（双向）

5D/6D激光干涉仪可以测量定位误差、直线度误差（双向）、偏摆角、俯仰角和滚动角

在选择无线遥控传感器的情况下，长的测量距离可到45米（80米可选）。

XD系列激光干涉仪可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。