激光干涉仪的发展历史：

　　1960年Maiman研制成功第1台红宝石激光器，从此开始了光学技术飞速发展的新时代。从此，激光干涉测量被广泛地用于长度、角度、微观形貌、转速、光谱等领域，并和微电子技术、计算机技术集成，成为现代干涉仪。

　　1982年Binning和Rohrer研制成功扫描隧道显微镜，1986年发明原子力显微镜，1986年获得诺贝尔奖。从此开始了干涉仪向纳米、亚纳米分辨率和精度前进的新时代。

　　由于激光具有*的时间相干性，自问世以来，已研制出多种激光干涉仪：单频激光干涉仪、双频激光干涉仪、半导体激光干涉仪、X射线干涉仪等。

　　激光干涉仪是激光在计量领域中成功的应用之一。利用光的干涉实现测量，具有非接触、无损检测的特点，已经在各个不同领域得到广泛的应用。

　　激光干涉仪的测量精度于哪些因素有关?

　　激光干涉仪在实际使用中，需要确认其在各个测量应用中能够达到的真实精度水平以确保测量数据准确可靠。激光干涉仪的测量读数终均与激光波长有关，因此激光器频率的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保障。此外，激光干涉仪的环境条件补偿系统(压力、温湿度传感器)的读数准确性对终的测量精度有着重要的影响。

　　总结起来，影响激光干涉仪测量精度的因素包括：

　　1、激光器频率(波长)及频率稳定性。

　　2、测量读数软件系统带来的误差。

　　3、反射镜、角锥棱角误差。

　　4、温湿度、压力传感器误差。

　　激光干涉仪的使用注意事项：

　　1、激光干涉仪必须定人保管，机加技术组人员专人，专人送检，他人不得随意动用，以防损坏，降低精度。

　　2、激光干涉仪要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温，仪器箱不要靠近火炉或暖气管。

　　3、对激光干涉仪要小心轻放，避免强烈的冲击震动，安置仪器前应检查三脚架的牢固性，整个作业过程中工作人员不得离开仪器，防止意外发生。

　　4、激光干涉仪应避免在温度变化大、有风、潮湿环境下测量，此时检测结果将收到很大的影响。