普旭COBRADS0600E真空泵*
上海谱瑞特工业自动化设备有限公司竭诚为您服务，本公司所在的集团在欧美多个国际设有分公司，于厂家关系非常和谐，可以去厂家直接拿货，保证货物质量和货期，优惠的价格是我们的宗旨，良好的服务、给所有的客户解决问题是我们的追求，欢迎与我们合作！
Busch真空泵及真空系统是全世界超大型的真空泵、鼓风机以及压缩机的厂商之一。我们的产品系列涵盖了广泛应用于所有工业领域的真空和正压技术解决方案。
凭借在真空泵及低压泵制造领域50多年的经验，Busch可提供种类齐全的产品，为全世界提供较广泛的工业真空技术。
我们的所有产品都拥有丰富的选项和*设计特点，可满足各种不同的应用需求，以最合适、具有成本效益的解决方案使客户获取利益。我们不断进行自我评估确保始终保持最高水平，并持续开发创新技术，为真空系统应用的未来发展树立标杆。

Busch是一家家族企业，总部位于德国的马尔堡，在瑞士、英国、捷克共和国、韩国以及美国均设有制造工厂。马尔堡也是公司在德国的主要制造工厂和销售公司所在地。
Busch在*拥有超过3000名员工，其中包括来自化学工程、机械工程及服务领域的众多专业人士。我们通过*服务网络，向客户提供真空泵以及真空系统的无缝隙服务。从北冰洋的近海石油勘探到巴塔哥尼亚的食品包装，Busch的服务技术人员和工程师们在*各地和各行各业精心维护着我们的真空系统。
干式螺杆真空泵简介：
干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程,真空度*，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，特别适用于电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域。本产品的自主创新性，产品质量及价格都具有很强的市场竞争力，可大范围替代进口产品，市场需求量大，将在化工、冶金、电子、石油、航空航天、工具、造纸、包装、食品、医药、医疗器械、以及信息工程、生物工程、微电子等100多个领域全面取代目前技术含量较低的真空设备。
性能特点编辑
1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空
2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况
3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体
4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。
5、水温对真空影响小，节水达90%以上,甚至可以不耗水。
6、不耗油,无滴漏
7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小
8、结构简单，维护方便。
9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。
10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组
优势:
COBRANC是一种单级双螺杆真空泵。一对螺杆转子在腔体内旋转。泵送的介质被螺杆捕获，经压缩后输送至排气口。在压缩过程中，螺杆转子间不相互接触，也不与腔体接触。压缩腔无需润滑油或工作液。冷却方式既可以采用直接水冷，也可以采用空气冷热交换器实现散热器冷却。
COBRASemicon螺杆真空泵
极限压力:0.001-0.03hPa(mbar)
抽气速率50Hz:70-7385m?/h
抽气速率60Hz:85-7385m?/h
COBRASemicon干式螺杆真空泵为工艺严苛的半导体、太阳能、平板显示器生产及镀膜行业提供有效的解决方案。
高效可靠
COBRASemicon螺杆真空泵配有高效电机，因此可提供的节能效果。强劲、可靠、低维护的COBRASemicon真空泵缘于其简单的设计结合Busch成熟的螺杆技术（可选择额外的直通法兰罗茨真空泵）。
应用导向
COBRASemicon螺杆真空泵有多种型号，广泛适用于各类工艺操作。紧凑型设计简化了安装过程，即使在较狭小的空间也能轻松安装。此系列真空泵拥有同等级中最高的抽速，可提供最大的通气量（甚至是氢气）及增强的颗粒耐受力。
*螺丝设计
高效：
低运营成本，最少的维护，高正常运行时间
灵活：
面向应用
过程时间短：
由于抽速高
紧凑的设计
COBRADS0600E是经过验证的COBRADS系列的干式螺杆真空泵。即使在需要高氢气吞吐量的条件下，它们的高抽速也使COBRADS螺杆真空泵成为光伏电池，平板和半导体生产中所有苛刻工艺的理想选择。*COBRADS螺杆真空技术可以将含有粉末和颗粒的介质抽空。
COBRADS干式螺杆真空泵具有干式压缩，专门开发的螺杆型材和*的气体排放。结果是高度的蒸气和颗粒耐受性。螺钉由单件铸件制成，避免任何间隙，使得工艺流体或颗粒无法进入，从而防止腐蚀。

COBRADS0600E配备高效电机，具有出色的能效。维护要求低，运营成本低，正常运行时间长，生命周期长，总体拥有成本非常低，为此性能等级设定了标准。
由于采用了适合的设计，可以快速，轻松地将这种螺杆真空泵改装到现有系统。
普旭COBRADS0600E真空泵应用
高密度等离子体CVD（HDP-CVD）
快速热处理（RTP）
亚大气压CVD（SACVD）
金属有机CVD（MOCVD）
等离子体增强CVD（PECVD）
低压CVD（LPCVD）
原子层沉积（ALD）
大容量负载锁定

油润滑旋片真空泵

技术说明

旋片技术简化了真空泵的工艺结构。 油润滑旋片设计，辅以*的制作材 料，配以*精密制造，确保其 在持续运行时可以获得稳定的高真 空。高效的抽气系统和集成式回油管 路结合*排气过滤器能确保排气 洁净无油污染。当配备气镇阀（可 选）时，可处理更大容量的蒸汽。当 关闭真空泵时，入口法兰内的单向阀 可防止空气回流至真空仓内。泵体由 一台法兰连接的标准电机直联驱动， 电机能效等级为 IE2。

同类产品:

无油爪式真空泵技术说明

Mink 真空泵的两个爪形转子在缸体 内以彼此相反的方向旋转。空气和工 艺气体被爪型转子吸入后压缩并排 放。爪型转子之间既不会互相接触， 也不会与其运转所在的缸体发生接 触。爪型转子与缸体之间的紧密间隙 既对其密封性进行了优化，又保证了 持续的高抽速。同步齿轮确保了转子 精确的同步运转。Mink 真空泵由一 台法兰连接的异步电机直联驱动，电 机能效等级为 IE2。

罗茨真空泵

技术说明

在 Puma WY 罗茨真空泵腔体内有两 个同步旋转的转子。由于转子采用特 殊设计及精密制造，它们在运行时不 会相互或与腔体接触。这样无需借助 任何工作液即可泵送介质。同步旋转 的两个转子由一对齿轮驱动，其位于 齿轮箱的轴端，与压缩腔室相分离。

产品:

干式旋片真空泵及压缩机

技术说明

Seco 真空泵的工作方式基于成熟的旋片技术原理。由于使用自润滑旋片，因此无需工作液润滑。*采用无油干式压缩的方式。通过*匹配的材料、腔体内的特殊石墨旋片、有效的排热和*精密加工工艺，得以实现连续运行时的高真空。

罗茨风机

技术说明

三叶罗茨风机依照罗茨系统原理工作：两个平行的转子在泵体内以相反的方向运转。泵送介质被密封在转子和泵腔之间，并通过转子的旋转运动，将其压缩后泵送至排气口。风机入口配备有集成消音功能的进气过滤器。而被压缩介质经风机排放之前，它也将由排气消音器处理后排出。驱动设备由电机及三角皮带构成。三角皮带的驱动方式可使风机转速得到精确的调节以配合生产工艺。实际上，Tyr 罗茨风机的设计在真空和正压版本上几乎是一样的。

液环真空泵及压缩机

技术说明

液环真空泵通常将水用作工作介质。偏置叶片在部分填充液体的泵腔中旋转。叶片的旋转运动所产生的离心力使泵腔内的液体形成液环。气体在各叶片和液环之间的空间传递。由于叶轮偏置，空间增大，生产气体通过吸入槽吸入；随着叶轮继续旋转，空间减小，从而使气体被压缩并通过排出槽排出。真空泵可采用水循环的开环或闭环进行操作。

技术说明

Samos 侧流风机根据脉冲原理工作，旋转叶轮产生的动能被传送到泵送介质并转化成压力。直接安装在驱动电机轴上的叶轮和铝外壳形成的侧通道使得介质在其中被压缩，然后通过压力侧的消音器排出。直接安装在驱动电机轴上的叶轮和铝外壳形成的侧通道使得介质在其中被压缩，然后通过压力侧的消音器排出。

涡旋真空泵

技术说明

涡旋真空泵主要由固定涡旋盘与驱动涡旋盘构成。驱动涡旋盘在固定涡旋盘中转动，产生一个旋转输送动作，将气体从涡旋盘外缘吸入，然后将其在两个涡旋盘间压缩并输送至涡旋盘中央。
 

涡轮分子真空泵

技术说明

Busch 涡轮分子真空泵 TM 1100-2200 A 采用涡轮机工作原理。快速旋转的涡轮叶片在定子叶片之间转动。这种转动将动能传至真空泵内无序的气体颗粒，进而将气体分子从进气口通过压缩传送至真空泵的排气口。叶轮的转速需大于30.000 min-1，才可驱动气体分子产生该效应。

扩散真空泵

技术说明

Rangu 扩散真空泵的基本组件是一个圆柱形泵和可加热底部。可加热的油作为泵的工作液。油蒸汽上升进入喷嘴系统，经过几道蒸汽流阶段后在高压下排出系统。工业废气中的分子被这些蒸汽流捕获下移，流向前级泵出口。油蒸汽在水冷式泵机组内凝结，直接返回机组底部。借助其多阶段、创新的喷嘴理念，Rangu 扩散真空泵可以提供*且稳定的抽速。

普旭COBRADS0600E真空泵技术规格
COBRADS气缸内的两个螺杆转子以相反方向旋转。泵送的介质被截留在汽缸和螺杆室之间，被压缩并被输送到气体出口。在压缩过程中，螺杆转子不会彼此接触或与气缸接触。因此，压缩室中不需要润滑剂或工作流体。COBRADS系列真空泵采用高效的间接水冷却，可在整个泵体内实现可控的温度分布，并可响应工艺变化。*螺杆设计可实现*的泵送速度，从而排出氢气。Tantal涂层可用于苛刻的应用。
普旭COBRADS0600E真空泵同类产品其他型号：
COBRADS0080/0160G             COBRADS0600E
COBRADS0700-2000G             COBRADS2610/3010E
COBRADS5161/9161A             COBRADS8162/8163A/E
COBRABA0100CCOBRAB            C0100/0200F
COBRABC0101FCOBRAB            C0101G
COBRABC0600FCOBRAB            C1000/2000F
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普旭COBRADS0600E真空泵*