Mitutoyo显微镜VMU-H 378-506

显微镜

观察、测量和处理系统化的显微镜阵容

VMU

378 系列 — 视频显微镜系统

• 紧凑轻量型显微镜，相机观察型。适于

检测金属表面、半导体、液晶面板、树脂等。

• 多种镜体通常用作适用于专业器械的OEM

(原厂委制) 产品，如那些利用YAG (近红外、

可见、近紫外或紫外) 激光* 对半导体晶片

进行检测和修补的设备。

* 不保证激光系统产品的性能和安全性。

应用：切割、修整、校正、 给半导体电路做

标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色

滤光器的修复 (校正错误)。还可用作光学观

察剖面图以便探头分析半导体故障。

• 对于VMU-LB 和 VMU-LB， 显微镜主件的刚度

和总体性能与之前的型号相比已有所提高。

• 应用*: 晶体硅的内部观察、红外光谱特征

分析等。

* 需要红外光源和红外摄像机。

• 配有孔径光阑的远心光学系统是表面照明

光学系统上的标准配件。适于需要均匀

照明的图像处理。可用于尺寸测量、形状

检验、定位等。

• 设计和制造均能满足您的需求，如双摄影

机架、双(低/ 高) 放大率观察。

规格

型号VMU-V VMU-H VMU-LB VMU-L4B

货号378-505 378-506 378-513 378-514

相机安装方向垂直水平垂直

观察亮视场/正像亮视场/反像亮视场/正像

光学管径

TV适配器配备C-mount端口以及调心机构配备C-mount端口以及调心机构(带有绿色滤光片转换开关)

成像(管径)镜头内置1X(可见/近红外校准) 内置1X(近红外~可见~近紫外校准) 内置1X(可见光/紫外线)

适用激光— YAG激光源(基本，第二/第三谐波)

安装

YAG激光源(第二/第三/第四谐波)

安装

物镜

(必选)

用于观察M Plan Apo系列, M Plan Apo HR系列, M Plan Apo SL系列, G Plan Apo系列

用于激光切割—

M/LCD Plan Apo NIR系列

M/LCD Plan Apo NUV系列

注意：取决于激光源的波长

M/LCD Plan Apo NIR系列

M/LCD Plan Apo NUV系列

M Plan UV系列

注意：取决于激光源的波长

适用相机(S) 2/3"以下相机(C-mount型)

反射照明光学系统配备有孔径光阑的远心光学系统

照明装置(可选) 光纤传导照明装置(12V，100W) (378 - 700*)/(15V，150W) (176 - 316*)

主机重量650g 750g 1270g 1300g

注1：除上面显示的型号外，对其它用于一般观察的型号，也同样配备了小型科勒照明系统。

注2：M Plan Apo 1X物镜需同偏振装置(378 - 710)一同使用。

*电源线不同货号有所不同。