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选择两种具有自动对焦功能的测量模式,使测量工作更加顺畅
·全自动对焦模式
レーザー将测量对象设置在激光指示器的照射位置并关闭门,
平台自动移动并自动进行测量。
·半自动对焦模式
同様与上述全自动对焦模式一样,当设置要测量的对象并
关闭门时,平台自动移动
并执行对焦操作。
自动对焦
将测量单元放置在激光指示器的位置,将其自动移动到测量值,并仅通过关闭门进行测量。测量后,当门打开时,舞台自动返回。
自动测量阶段
我们通过将鼠标放在测量位置来实现快速对齐。另外,如果登记测量位置,也可以进行连续自动测量。通过通道链接对应各种模式的坐标校正。标准板校准也可以自动测量。
双滤镜采用
除数字滤波器外,机械滤波器(双滤波器)可用于在条件下进行测量,以便始终获得精度。
完整的报告准备功能
通过采用MS-Windows软件,您可以轻松捕获测量屏幕并具有完整的报告创建功能。即使使用测量,多任务也可以进行其他处理,包括创建报告。
5种内脏器官
准直器的小直径为0.1φmm,可以测量极小的部件。标准·0.1,0.2,0.5,1.0,2.0
此外,还有两种特殊规格可供选择。
·
0.05,0.1,0.2,0.3,0.5·0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5
自诊断功能和X射线管维护功能
自诊断功能可以快速解决设备故障。此外,还增加了X射线管使用时间和耐久时间显示功能,以支持维护安全。
薄膜厚度测量期间的光谱显示
使用多通道进行频谱分析高速处理可实现对象的简单操作和频谱显示。(处理速度约2-3秒)
显示测量单位监视器图像
将X射线照射单元装载在Windows屏幕上并显示X射线照射单元。准直器使得可以改变放大率。
目视显示待测物体的镀层附着力分布
三维图形显示使得可以一目了然地理解被测物体的镀层厚度分布。
关于Be window X射线管(选项)的性能提高(高精度)
我们为X射线荧光膜厚度计EX-731准备了Be X射线管(可选)
。通过使用该选项,
可以在Cr测量和Ni测量中大大提高重复测量的精度。
关于绩效改进的说明
高能量(高原子序数)Sn
的测量与以前相同,但是在测量低能量(低原子序数)Cr和Ni的情况下,取决于膜厚度,Cr超过3倍,Ni超过2倍或更多重复
倒钩精度有所改善。如果在两个层测量表面层的Au是略中间
层的Ni已经由约20%提高接收贡献的精度。荧光X射线法的厚度计
在生成其中获得的荧光X射线强度的过程中的情况下,重复测定精度(标准偏差)
是由于统计波动确定的,施加成为窗口的X射线管(可选)
由此可知,与以往的标准机相比,在Cr的情况下,获得了约9倍以上的荧光X射线强度
。因此,可以在短时间内以与传统相同的精度进行测量。
请考虑使用此Be窗口X射线管。
测量屏幕
自动测量位置检查
直方图
3D图形
类型 | 自动舞台 | ||
测量头 | 尺寸(mm) | 170 x 110 | |
移动量 | X(mm) | 200 | |
Y(mm) | 200 | ||
Z(mm) | 90 | ||
测量物体高度() | 90 | ||
尺寸(mm) | 685(宽)x 520(深)x 685(高) | ||
重量(kg) | 85 | ||
样品负荷(kg) | 五 | ||
计算机 | 尺寸(mm) | 主体182(W)×383(D)×372(H) /监视器412(W)×415(D)×432(H) | |
重量(kg) | Body 6.8 / Monitor 2.8 | ||
打印机 | 重量(kg) | 3.4 | |
电源 | AC 100 V±10 V. |
注意:规格如有更改,恕不另行通知。
X射线源 | 油浸式紧凑型微焦X射线管 靶:钨 管电压50kV 管电流可变 |
照射方法 | 顶部垂直照射方法 |
探测器 | 比例计数器 |
准直器 | 五种类型(自动切换型) 0.1,0.2,0.5,1.0,2.0φmm (可选):0.05,0.1,0.2,0.3,0.5 ,φ :0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5φ |
样品观察 | CCD彩色摄像头(自动对焦) |
计算机 | PC / AT兼容 17英寸彩色显示器 |
打印机 | 喷墨打印机 |
测量目标 | 原子序数22(Ti)至82(Pb) 原子序数21或更小可通过吸收法测量 |
过滤器 | 两种类型(Co,Ni)自动切换 |
可衡量的范围 | 原子No.22-24:0.02至约20μm 原子序数25至40:0.01至约30μm 原子序号41至51:0.02至约70μm 原子序号52至82:0.05至约10μm |
校准曲线 | 校准曲线自动创建功能 多点校准曲线 |
校正功能 | 基础修正 |
应用 | 单层电镀测量双层 电镀测量 三层电镀测量 合金膜厚度成分比同时测量 化学镀镍测量 |
测量功能 | 自动测量 输出格式设定 光谱测量 2点距离测量 |
自动表功能 | 自动对焦 |
数据处理功能 | 统计显示:平均值,标准差,值,小值,范围,Cp,Cpk 直方图 配置文件显示 测量数据3D显示xR 控制图 |
安全功能 | X射线电源键开关 故障安全功能 |
其他功能 | 舞台坐标显示 密码功能 维护 |
TQ-50NG16
TQ-100NG16
TQ-150NG16
TQ-200NG16
TQ-300NG16
TQ-500NG16
TQ-1KNG16
TQ-1.5KNG16
TQ-2KNG16
TQ-3KNG16
TQ-4KNG16
TQ-5KNG16
TQ-7KNG16
TQ-10KNG16
TQR-200MNA32
TQR-500MNA32
TQR-1NA32
TQR-2NA32
TQR-3NA32
TQR-5NA32
TQT-2NB57M2G4
TQT-5NB57M2G4
TQT-10NB57M2G4
TQT-20NB57M2G4
TQT-30NB57M2G4
TQT-50NB57M2G4
TQT-70NB57M2G4
LC-10KNE450
LC-20KNE450
LT-5KNG56
LT-10KNG56
LT-20KN
PG-200MPG7
PG-300MPG7
PG-400MPG7
日本电测膜厚计EX-851 日本电测膜厚计EX-851