气体质量流量计和控制器
可选配一体式显示屏，用于测量洁净气体

规格:
精度： 满量程的±1%（包括线性度）
重复性： 满量程的±0.15%或者更佳
量程比： 100:1
响应时间： 5秒
气体环境温度： 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
温度系数： 每1°C为满量程的0.05%或更佳
压力系数： 每psi为满量程的0.01%或更佳
压力要求：

流量计：

1英寸水柱
最大流速为1 SLM的控制器： 1 psi
流速大于20 SLM的控制器： 20 psi
质量流量控制器的压差： <5 LPM，5 ~ 50 psi（标准）
>5 LPM，20 ~ 40 psi（标准）
气体最大压力：

聚甲醛：

250 psig
316不锈钢： 500 psig
泄漏完整性： 1 x10-6 cc/min氦气或更佳
接液部件：

标配：

聚甲醛、氟橡胶O形圈
选配： 316不锈钢、氟橡胶O形圈
连接口： ¼ FNPT（标配）；
¼"压合接头（适用于所有不锈钢型号流量计）
输入／输出连接口： 9针sub-D连接器
控制信号： 0 ~ 5 Vdc
控制阀： 常闭电磁阀
输出信号： 线性0 ~ 5 Vdc（最小负载1000 Ω），4 ~ 20 mA（环路电阻500 Ω）
安装螺纹：

316不锈钢壳体：

6⁄32"螺纹
聚甲醛材料： #4/6自攻螺丝
输入电源：

流量计：

24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac（带交流适配器）
控制器： 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac（带交流适配器）
外形尺寸： 参见图纸
重量： 1.25 kg (2.75 lb)（含电源）