苏州英莳特仪器科技有限公司边学飞代表公司参加慕尼黑上海光博会，包括光学与光学制造、检测和质量控制、红外技术及应用。

3月21日光学测试与检测前沿论坛，华中科技大学机械科学与工程学院江浩副教授讲述偏振与椭偏仪器研制与应用。

扫描/透射点镜（SEMTEM）需要真空操作，不适用与集成测量，需要破坏性测试；

原子力显微镜（AFM）接触式测量，生产率低，需要改进探针；

光学形貌仪（OP）干涉原理，无法测膜厚，无法测纳米结构；

椭偏仪同时测量光学常数、膜厚，快速、飞破坏优点；