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武汉市所在地
日本filmetrics反射/透射/薄膜厚度测量系统F10-RT
集成测量单元和测量台的紧凑型台式测量系统
光谱范围广，可选择多种光源
反射率和透射率同时测量，膜厚、折射率和可用分析能力消光系数
标准维护时间记录的相机测量位置
放个样品就行了。无需调整光学系统，设置非常简单
| 聚酰亚胺、ITO、抗蚀剂、氧化膜、抗反射涂层、PET和玻璃基板上的各种光学膜 |
| 玻璃、眼镜、镜片等的硬质涂层。 |
| CdTe、CIGS、非晶硅等 |
模型
F10-RT
-紫外线
F10-RTF10-RT
-近红外
F10-RT
-近红外
F10-RT
-UVX
测量波长
范围
膜厚测量
范围
性
光源
| 190 – 1100nm | 380 – 1050nm | 950 – 1700nm | 380 – 1050nm | 380 – 1050nm |
| 1nm – 40μm | 15nm – 70μm | 100nm – 150μm | 15nm – 150μm | 1nm – 150μm |
| ± 0.2% 薄膜厚度 | ± 0.4% 薄膜厚度 | ± 0.2% 薄膜厚度 | ||
| 1纳米 | 2纳米 | 3纳米 | 2纳米 | 1纳米 |
氘· 卤素 | 卤素 | 氘· 卤素 | ||
平板中使用的透明电极ITO的膜厚和折射率的测定例
同时测定反射率和透射率。薄膜厚度分析 FIL Measure 软件可即时分析薄膜厚度、折射率等。
