CKD集成化供气系统

型号： IAGD5

行业

半导体制造工序（前工序）

化学气体供给设备用元件

产品特点：【集成单元】
通过紧凑集成标准化部件，构建工艺气体供气线。
实现了可高速置换工艺气体和惰性气体的理想流路。
从设计到装配、检查完成后交付，可减少客户的工时。

CKD集成化供气系统
型号： IAGD5   衍生系列

ckd集成化供气系统IAGD5

化学液体用气动阀的新标准。

它是一款支持各种压力、温度和流体条件的端产品。

它可以统一使用中所有细分的模型。

行业

半导体制造过程（预处理）

化学液体供应设备的组件

ckd集成化供气系统IAGD5

备有最大扭矩22和45N·m两种尺寸。

配备 4、194 和 304 个脉冲的编码器分辨率，可实现 ±2 秒的重复精度。

产品可以直接从顶部或底部安装，无需拆下盖子。这显着减少了工作时间，尤其是从顶部安装时。【维护方便】

滑块侧面设有可直接从外部供给油脂的油脂供给口。不分解主体，从一处输送油脂，维护导轨和滚珠丝杠。[低尘规格选项]

提供相当于 2.5 级（ISO14644-1 标准）的清洁度。通过提供真空端口实现低发尘。非常适合在清洁环境中运输。

* 有关清洁等级的详细信息，请参阅产尘特性页面上的目录。[NEW] 添加了低粉尘规格选项

[NEW] 添加了电机制造商支持

电动执行器的无电机规格，允许您安装和控制每个制造商的电机。

将主体和导轨一体化的外轨系统结构紧凑，刚性高。主体外侧设有供油口，主体顶部可安装，安装维护方便。

冲程：50~1250mm

最大搬运质量（水平）：110kg[NEW] 添加了低粉尘规格选项

[NEW] 添加了电机制造商支持

电动执行器的无电机规格，允许您安装和控制每个制造商的电机。

将主体和导轨一体化的外轨系统结构紧凑，刚性高。主体外侧设有供油口，主体顶部可安装，安装维护方便。

冲程：50~1250mm