VICI/美国 品牌
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Model 235 包括两个质量流量控制器(MFC)系统 – 载气和稀释气系统。渗透管置于渗透腔内,一般载气以一个固定流量流经渗透腔。渗透腔的温度控制了校准气体从渗透管向外渗透的渗透率,保证了仪器的精度。渗透管的温度调节范围为30°C (或室温加上 2°C) 到110°C。载气在渗透腔内与校准气混合候进入混合三通。
在标准的模式下,稀释气由稀释气的MFC加以控制和测量,然后进入三通的另外一侧。载气和稀释气混合后送到分配三通留到“SPEN OUT”和“Overflow”放空。
产品特点:
§ 自动控制温度和流量;
§ 触摸屏设定和操作;
§ 温度控制精度:±0.01°C 在 110°C;
§ 供气范围:PPB – 高浓度 PPM;
§ 具有智能控制、温度流量控制、动态标准气体发生和静态标气稀释双功能。