日立扫描电镜的特点是激发光从物镜向下落射到标本表面，即用同一物镜作为照明聚光器和收集荧光的物镜。光路中需加上一个双色束分离器，它与光铀呈45度，激发光被反射到物镜中，并聚集在样品上，样品所产生的荧光以及由物镜透镜表面、盖玻片表面反射的激发光同时进入物镜，反回到双色束分离器，使激发光和荧光分开，残余激发光再被阻断滤片吸收。

 

　　使用日立扫描电镜采用入射光观察的标本，它的准备工作十分简单，只是清洁标本的表面并切割为适当大小的小块。而用透射光观察的标本，必须具有由于光吸收的差异而产生的一定反差，才能在日立扫描电镜下被观察到。为此，标本必须经过一系列复杂的处理和制备过程，这种制备技术就是我们一般所说的生物显微技术。

 

　　无论是透明的材料或不透明材料、甚至荧光材料都可以分析出较为理想的效果。在较低放大率下，移动采样阶段可以找到待分析的样本、放大的和聚焦的样本。较简单的方法是找出边界明显的特征点，使用对比度、亮度、放大率和焦距来制作图像，然后在样本的基础上寻找或选择感兴趣的分析站点。

 

　　日立扫描电镜的调焦结构分为微动调焦和粗动调焦两部分：

 

　　1、微动调焦结构

 

　　微动机构有齿轮式，杠杆式，行星轮式等结构形式，中以齿轮式粗、微动同轴结构使用得普通。

 

　　2、粗动调焦结构

 

　　粗动调焦机构一般采用齿轮与齿条的啮合运动形式，选用组织稳定而耐磨性较强的合金材料，并经过精密加工而成。

 

　　当转动粗动手抡时，全相试样表面对光学系统发生相对运动，被调系统作准确的直线运动。移动时效尾与燕尾榴配合平稳，没合松动或过紧的现象。而齿轮与齿条的齿合精度由调整齿条与齿轮的中心距保证。