台式全自动三维形貌计量设备

ContourX-500光学轮廓仪快速，非接触式3D表面计量自动化台式系统。该系统集成了布鲁克自动倾斜光学测头，可以完成编程并自动测试一定角度范围内的表面特征，并能大程度地减少跟踪误差。

ContourX-500满足计量要求，Z轴分辨率和准确性，并在更小的占地面积内提供了布鲁克的白光干涉仪（WLI）落地式型号的优点。借助其新的USI通用扫描模式，本产品可以轻松地针对各种复杂应用场景定制分析方法。这些场景涵盖了从加工表面和半导体工艺制程，到眼科和MEMS器件的R＆D表征。

先进的台式三维形貌计量设备

* 与放大倍率无关的Z轴分辨率

* 自动化功能，包含带编码器的XY轴样品台、自动测头倾斜和自动亮度调整

* 更紧凑的气动减震台设计

高性能的测量与分析功能

* 易于使用的界面，可快速准确地获得结果

* 广泛的自动化功能，可量身定制测量和分析程序

* 广泛的滤镜和分析工具

* 满足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等标准在内的定制化分析报告