超声波显微镜的工作原理
时间：2023-02-20 阅读：833
入射到物体上的机械波要发生反射、折射、衍射和吸收等现象，经历这些现象因与物体发生相互作用而含有物体的信息，利用某些物理效应把含有新信息的显示出来就实现了成像。至于显微分辨本领则与波长相当。现就透射式SAM进一步说明。电信号激发压电换能器，经透镜穿过放在平面上的被测样品，载物片是几微米厚的聚酯树脂薄膜，耦合媒质是水，当到达对面的透镜，含有样品信息的经压电换能器接收又变成电信号，经接收电路送到示波器，机械扫描装置使载物台作二维扫描运动，使得样品上作逐点逐行地照射，当机扫与示波管的电子束运动同步，屏幕上出现一幅对应于物体的被照射部位，这幅是由许多像元组成。由于扫描的限制，需几秒才能完成。
一、超声波扫描显微镜有两种工作模式:基于超声波脉冲反射和透射模式工作的。反射模式是主要的工作模式，它的特点是分辨率高，对待测样品厚度的没有限制。透射模式只在半导体企业中用作器件筛选。
二、超声显微镜的核心就是带压电陶瓷的微波链,压电陶瓷在射频信号发生的激励下，产生短的声脉冲，随后这些声脉冲被声透镜聚焦在一起，超声波扫描显微镜的这个带压电陶瓷的部件叫换能器，英文是:Transducer。换能器既能把电信号转换成声波信号，又能把从待测样品反射或透射回来的声波信号转换成电信号，送回系统进行处理。
三、换能器负责将电磁脉冲转换成声脉冲，离开换能器后，声波被声透镜通过耦合介质(一般是去离子水或*等)聚焦在样品.上。耦合介质是为了防止超声波信号快速衰减,因为超声波信号在一些稀疏介质中传播时会有快速衰减。样品置于耦合介质中，只要声波信号在样品表面或者内部遇到声波阻抗介面(如遇到孔隙、气泡、裂纹等)，就会发生反射。