一、主要功能

 

样品裂片:通过物理或化学方法，将半导体材料样品裂解成所需的尺寸和形状，以便进行后续的分析和测试。

 

高质量截面制备:裂片仪能够制备出高质量的样品载面，截面精度可达到亚微米级，满足高分辨率扫描电子显微镜(SEM)等检测设备的需求。

 

自动化操作:部分先进的半导体裂片仪具备自动化功能，能够自动完成样品的裂片、走位标记等操作，提高工作效率和精度。

 

二、工作原理

 

半导体裂片仪的工作原理通常包括以下几个步骤:

 

1.样品预处理:对原始半导体材料样品进行预处理，如清洗、去氧化层等，以确保裂片过程的顺利进行。

 

2.定位与标记:使用高精度定位装置对样品进行精确定位，并在裂解位置进行标记。

 

3.裂片操作:根据设定的裂片参数(如裂片力、裂片速度等)，通过物理或化学方法将样品裂解成所需尺寸和形状的裂片。

 

4.后续处理:对裂片后的样品进行后续处理如清洗、干燥、保存等，以便进行后续的分析和测试。