腐蚀性气体质量流量计是用于腐蚀性气体的MS 流量计和 MCS 流量控制器

Alicat MS流量计和MCS流量控制器采用316L不锈钢结构，可根据腐蚀性气体类型选择合适的弹性密封材料。

MCS控制器均配备全不锈钢控制阀。

Alicat的MS系列腐蚀性气体质量流量计可快速测量腐蚀性气体(如：NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力和温度。MCS系列质量流量控制器通过定制化的高速比例控制阀还可控制腐蚀性过程气体的质量流量、体积流量和压力。

MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器的核心部件是Alicat层流压差技术，确保在大流量情况仍然是线性流动，从而补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。

所有Alicat质量流量计&质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat提供*的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。

MS/MCS系列质量流量计/质量流量控制器采用全不锈钢结构及弹性密封材料，内置130/128种标准气体供选择。集成式多功能数字显示屏允许用户通过显示屏按钮操作便可进行气体切换、设定值输入及PID阀门调节。MS/MCS系列设备支持标准的模拟通讯和RS-232数字通讯模式，另有各类定制化选项供特殊项目需求，如：用于危险环境的ATEX(欧洲)1类2区和CSA(美国)1类2区认证产品等。另有便携式(MBS系列)质量流量计可选。

Alicat产品采用层流差压式原理，拥有LFE技术，凭借航天级水准，长期支持美国航天局(NASA)、SpaceX探空火箭项目，并为科研及工业领域提供快捷、稳定的技术解决方案。

产品类型：气体或液体质量流量计、质量流量控制器、压力计、压力控制器。

客户行业：实验科研、环境保护、生物医药、过程控制、能源化工、半导体电子以及相关的公共事业。

应用领域：计量检测、泄漏测试、生物发酵、燃烧控制、真空镀膜、光伏、燃料电池等。