真空应用流量控制器的特征如下：与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快，外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准MFC实现端对端的匹配连接。

MCV和MCE联系紧密，采用内置气动截止阀，适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上，防止在设定点为零时出现污染情况。

多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。

连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。

真空应用流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。

任何天气条件下均可准确完成空气流量校准

简单升级老化的热式流量控制器

性能

可用量程：大0-20 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）

可调比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）

标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）

高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）

可重复性：0.2%满量程

标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）

气动阀漏气率（仅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（大值，氦气）

无需预热时间

工作条件

兼容气体：98种（MCE/MCV系列）或130种（MCES/MCVS系列）预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

工作温度：-10°C至+60°C

大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）

耐受压力：175 psig（190 psia）

STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

Alicat产品采用层流差压式原理，拥有LFE技术，凭借航天级水准，长期支持美国航天局(NASA)、SpaceX探空火箭项目，并为科研及工业领域提供快捷、稳定的技术解决方案。

产品类型：气体或液体质量流量计、质量流量控制器、压力计、压力控制器。

客户行业：实验科研、环境保护、生物医药、过程控制、能源化工、半导体电子以及相关的公共事业。

应用领域：计量检测、泄漏测试、生物发酵、燃烧控制、真空镀膜、光伏、燃料电池等。