冻干机EH2600爱德华真空罗茨泵维修

半导体加工
我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及世界每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。

应用

●真空冶金加工
●薄膜覆层技术
●制药冷冻干燥
●冷冻和空调系统抽空、干燥和回填
●变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理工厂
●灯具制造
●低温容器抽空
●化工行业中的真空干燥和蒸馏
●半导体设备制造
●用于高真空应用的前级泵

洁净的真空
腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运作
选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运作。

用途
•  照明、电子、光学、半导体。
•  镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。
•  真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
•  真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。
•  分析仪器、检漏设备、CO2激光设备。

冻干机EH2600爱德华真空罗茨泵维修