nXDS10i爱德华涡旋泵维修

Edwards XDS 和 nXDS 系列干式涡旋泵
Edwards 干式涡旋泵为各种应用提供成熟的干式清洁真空解决方案。

当需要无油抽空时，涡旋泵是旋片泵的替代品。

Edwards XDS35i 干式涡旋泵
Edwards XDS35i 干式涡旋泵

XDS 干式涡旋泵
在干泵真空领域，XDS 干式涡旋泵已成为行业标准，在广泛的应用中被证明是一种坚固耐用且清洁的真

空泵解决方案。

现在，结合双启动涡旋形式技术和旁通阀，Edwards 得以提供 XDS35i 增强型系列泵，以补充我

们原有的产品线。

Edwards nXDS15i 干式涡旋泵
Edwards nXDS15i 干式涡旋泵

nXDS 干式涡旋泵
nXDS是我们新一代的涡旋泵，与其他泵相比，具有更高的抽取速度、更低的极限压力、更低的功耗和

更低的噪声级。

nXDS 泵的设计力求实现*现场维修。其智能控制功能和长达五年的维修间隔可降低拥有成本，使其

成为当今技术先进的小型干泵。

轴承护罩
确保制程气体和轴承润滑分离，以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染，从而延长轴承使用寿命。

智能电机驱动
意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。

高流速气囊功能
允许泵送蒸汽，包括高达 240 gh-1 的水蒸汽

简便的单侧涡旋设计
可在数分钟内完成维护，以降低拥有成本并程度延长正常运行时间。

更进一步
增强型在初始抽空期间可减少多达 20％ 的峰值电力需求，这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空

大容量腔室，且在该粗抽压力下抽取速度可提高达 25％，这也有助于提高应用循环频率。

nXDS 干式涡旋泵

改善工作环境，降低环境影响
运行安静

操作简单
控制装置智能且易于使用

无污染、无油
全密封、免润滑的真空环境

低使用成本
服务间隔长，功耗低

更快的制程
蒸汽处理

nXDS10i爱德华涡旋泵维修