leybold莱宝真空计TTR200NTHERMOVAC 变送器

TTR 200 N THERMOVAC 系列真空变送器可提供从 5×10-5 毫巴至 1500 毫巴的较大测量范围，基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性和压电传感器中硅膜的机械偏转的测量结果。

变送器配备 RS232 数字通信接口，可设定变送器参数并提供实时压力测量。更多详情，请参阅通信协议 300544663 (RS232)。

每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外，每个变送器压力读数均在操作温度范围内逐一得到温度补偿。

变送器拥有三个机械继电器，这些继电器可用于过程控制，例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备，用于获取压力读数，或进行压力控制。

传感器技术

变送器含有两个独立的传感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统)) 传感器元件基于热传导性的测量结果。MEMS Pirani 传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片，其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状，空腔内无法进行对流，因此，传感器对安装位置并不敏感。通过扩散，气体分子只到达热元件，在此处可测量气体的热损耗。

压电传感器基于对硅膜机械偏转的测量。硅膜的一侧暴露于环境压力，另一侧暴露于真空。

压电传感器可测量无关于气体成分和浓度的真实差压。

这两个传感器元件都极为坚固耐用，可承受较高重力和瞬间空气涌入。

应用

差分压电传感器将始终相对于环境压力进行精确的测量，不论环境条件如何改变。这使其成为以下高精度控制的理想备选:

- 真空锁 (确保精确快速的排气并防止真空锁受到空气污染)

- 相对于环境的腔室超压和欠压控制。

变送器可用于众多不同领域的真空应用中，如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:

 真空锁压力控制

 一般真空压力测量

 前级管道和粗抽压力测量

 气体回填测量和控制

 质谱仪控制

 启动超高真空电离 (UHV) 规

 系统过程控制

 检测异常压力，利用设定点继电器采取妥当的安全措施

 控制系统压力

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