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kocosWATOM晶片边缘轮廓测量仪 kocosWATOM晶片边缘轮廓测量仪
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晶片边缘和缺口轮廓测量
在半导体工业中使用越来越小的式样，需要越来越*的高质量材料。为了应对晶片质量的稳步提高，KoCoS自动化公司开发了WATOM，这是一种晶片边缘和缺口轮廓测量工具，预示着极其精确的晶圆几何测量的新时代。
WATOM支持在整个晶圆制造过程中的质量保证，从一开始就一直持续到晶圆回收。
WATOM边缘和Notch晶片几何学分析仪将高质量标准和一服务相结合，为半导体晶片制造中几何测量的质量保证设定了基准。这些高精度的、基于激光的边缘轮廓测量工具是专门为半导体行业中的生产线的佳集成而设计的。
