Keithley 4200A-SCS 参数分析仪

简介

Keithley 4200A-SCS 参数分析仪使用 4200A-SCS参数分析仪（参数测试仪）加快各类材料、半导体器件和*工艺的开发，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是业内性能领xian电学特性参数分析仪，提供同步电流电压曲线测试 (I-V曲线测试)、电容-电压曲线测试 (C-V曲线测试) 和超快脉冲 I-V曲线测量。

Keithley 4200A-SCS 参数分析仪

特点

参数查看，快速清晰。

推进大胆发现从未如此容易。4200A-SCS 参数分析仪从设置到运行检定测试的时间减少高达 50％，从而实现无与lun比的测量和分析能力。此外，嵌入式测量专业知识提供无与lun比的测试指导，并让您对z终结果充满信息。

特点

• 用于 DC IV、CV 和脉冲 IV 测量类型的高级测量硬件

• 立即使用 Clarius 软件中所含的数百种用户可修改应用程序测试开始测试

• 自动实时参数提取、数据绘图、分析函数

准确的 C-V 表征

使用吉时利新的电容-电压单元 (CVU) 4215-CVU 测量一位数飞法。通过将 1 V AC 电源集成到吉时利行业领xian的 CVU 架构中，4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的频率下进行低噪声电容测量。

特点

• 同类产品中shou款能够驱动1 V AC 电源电压的 CV 表

• 1 kHz 频率，分辨率从1 kHz 到 10 MHz

• 测量电容、电导和导纳

• 使用 4200A-CVIV 多路开关z多可测量四个通道

测量、 切换、 重复。

4200A-CVIV 多通道切换模块自动在 I-V 和 C-V 测量之间切换，无需重新布线或抬起探头端部。 与竞争产品不同，四通道 4200A-CVIV 显示器提供本地可视查看，可快速完成测试设置，并在出现意想不到的结果时轻松排除故障。

特点

• 无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端

• 用户可配置低电流功能

• 个性化输出通道名称

• 查看实时测试状态

稳定的低电流测量，适用于 I-V 检定

使用 4201-SMU 和 4211-SMU 模块，您可以在高电容系统中实现稳定的低电流测量。4200A-SCS 有四种型号的源测量单位 (SMU) 可供选择，可通过定制满足您所有的 I-V 测量需求。通过提供现场可安装单元和可选的预放大器模块，Keithley 可确保您获得z准确的低电流测量，而停机时间很少甚至没有。

特点

• 不必将仪器送回工厂即可增加 SMU

• 进行 飞安测量

• 多达 9 个 SMU 通道

• 针对长电缆或大卡盘进行了优化

带分析探测器和低温控制器的集成解决方案

4200A-SCS 参数分析仪支持许多手动和半自动晶片探测器和低温控制器，包括 MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温控制器。

特点

• “点击”测试定序

• “手动”探测器模式测试探测器功能

• 假探测器模式无需移除命令即可实现调试

降低成本并保护您的投资

吉时利保障计划以按需服务事件的一小部分成本提供快速、高质量的服务。

生物传感器检定

生物传感器或 bioFET 将对分析物的生物响应转换为电信号。集成到 4200A-SCS 中的 Clarius 软件包括一个用于测试 bioFET 的项目。以此为起点检定生物传感器的传输和输出特性，并从这里展开工作。

飞法电容测量

使用 4215-CVU 模块测量亚毫微微法拉电容。通过驱动 1 V AC，在测量 1 fF 电容器时，4215-CVU 的噪声水平可低至 6 attofarad。这只是 Clarius 软件随附的用于测量电容和提取重要参数的数十种应用程序之一。

特点

• 内置飞法测量功能

• 从 1kHz 到 10MHz 的 10,000 个频率步进

• 使用用户库定制任何设备的任何测试

半导体和 NVM 可靠性

通过全面脉冲 I-V 检定在测试中利用新技术。 4200A-SCS 为新 NVRAM 技术提供支持和即用型测试，从浮动门电路闪存到 ReRAM 和 FeRAM，不一而足。 电流和电压双源和测量功能同时支持瞬态和 I-V 域检定。

提供适合高阻抗应用的 C-V 测量功能

采用 Keithley 的自定义极低频 C-V 技术分析高电阻样本的电容。 该技术可通过仅使用源测量单元 (SMU) 仪器实现应用，同时可与 4210-CVU 结合使用，执行更高频率测量。

特点

• .01 ~ 10 Hz 频率范围，1 pF ~ 10 nF 灵敏度

• 3½ 位典型分辨率，z小典型值 10 fF

使用长电缆或电容式夹具时进行测试

当测试需要非常长的电缆或具有较高电容的夹具时，请使用 4201 或4211-SMU。这些 SMU 非常适合连接 LCD 测试站、探测器、开关矩阵或任何其他大型或复杂的测试仪。现场可安装版本使您无需将设备返回服务中心即可增加容量。

材料电阻率

使用集成了 SMU 的 4200A-SCS，可通过四点同轴探头或范德堡法轻松测量电阻率。 内含测试可自动重复执行范德堡计算，节省您宝贵的研究时间。 10aA 的z大电流分辨率和大于 10­­­­16 欧姆的输入阻抗可提供更准确和精准的结果。

MOSFET 检定

4200A-SCS 可容纳所有必要的仪器，用于通过组件或晶圆测试执行全面的 MOS 设备检定。 内含测试和项目可以解决 MOSCap 的氧化物厚度、门限电压、掺杂浓度、移动离子浓度等问题。 只需触摸一个仪器盒中的按钮，即可运行所有这些测试。