日本东京计装气体用热式流量计

TH热流量计是基于热传导理论的东京仪表原创的气体用热式流量计。 为了支持各种用途，传感器可支持公称直径15A~1500A。
另外，转换器从适合使用用途的单功能型到高功能型，备有各种产品。 (热流量计将传感器和转换器组合使用)

产品系列和概略规格

可进行不受压力及温度变动影响的质量流量测量
从低流速范围到高流速范围在广范围内具有实用测量精度
无可动部、高耐久性
0.1kPa以下的低压力损失( TH-1600/TH-1800系列除外)
整流器组装型几乎不需要上游侧直管部( TH-1800系列及TH-1200+选购整流器)
从-196℃的超低温到+550℃的超高温，可广泛应对
带净化功能检测器可对应含有灰尘雾沫的生产线

主要用途

半导体制造设备(气体管线)
空调管线
医用气体供给管线
低压气体管线
垃圾焚烧设备生产线

日本东京计装气体用热式流量计

一般配管插入型传感器(1)

形式	TH-1100战斗机	TH-1400战斗机	TH-1100-SP/ th-3200战斗机
外观
特点类型	插入型	插入型(插入长度可变)	插入型、带清除功能 中温用/高温用
进程连接	配管喷嘴法兰 (标准32AJIS10K )	配管喷嘴法兰 (标准40AJIS10K )	法兰连接 (标准65AJIS10K )
配管口径	50A~350A 选择项400A ~1500A	50A~350A 选择项400A ~1500A	150A~1500A配管插入型
gao使用温度分类	80℃/180℃/240℃	80℃/180℃	80℃/240℃/550℃
zui高使用压力	1.0MPa		TH-1100-SP: 1.0MPa TH-3200-SP: 0.1MPa
流量范围	小:空气0~45m/h ( nor ) 大值:空气0~681490 m/h ( nor )		小:空气0~120/0~255 m/h ( nor ) 大值:空气0~391840/0~391800 m/h ( nor )
检测器材质	检测器: SUS304、SUS316、SUS316L 传感器: SUS316 密封:氟橡胶及其他

普通法兰安装型传感器(2)

形式	TH-1200战斗机	TH-1700战斗机	TH-1800战斗机
外观
特点类型	内联型 法兰连接型	小~中口径在线型 法兰连接型	小~中口径在线型 整流器组装型
进程连接	配管法兰连接 (标准JIS10K )		配管法兰连接 (标准JIS10K ) 或Rc螺纹
配管口径	50A ~ 150A	15A ~ 50A
zui高使用温度分类	80℃/180℃
zui高使用压力	1.0MPa
流量范围	小值: 空气 0~45 m/h ( nor ) 大值: 空气 0~7360 m/h ( nor ) 整流器有 小值: 空气 0~5 m/h ( nor ) 大值: 空气 0~2605 m/h ( nor )	小值: 空气 0~235 m/h ( nor ) 大值: 空气 0~130 m/h ( nor )	小值: 空气 0~105 m/h ( nor ) 大值: 空气 0~5855 m/h ( nor )
检测器材质	检测器: sus 304 sus 316 sus 316 l 传感器: SUS316 密封:氟橡胶及其他	检测器: SCS 14 sc s 16 sus 304 sus 316 sus 316 l 传感器: SUS316 密封:氟橡胶及其他

高品位传感器
接触气体金属部实施复合电解研磨，采用金属密封。
要求非粒子、低泄漏的半导体气体工艺。

形式	TH-1100-HQ	TH-1500-HQ
外观
特点类型	插入型 (特殊法兰喷嘴)	小~中口径串联型、配管焊接 (高品位传感器)
进程连接说明	配管喷嘴法兰 (特殊法兰喷嘴)	工艺管道焊接
配管口径	50A~100A	15A~25A
zui高使用温度	120℃
zui高使用压力	1.0MPa
流量范围	小:空气0~50m/h ( nor ) 大值:空气0~3355 m/h ( nor )	小:空气0 ~ 260 L/min(nor ) 大值:空气0 ~ 4075L/min(nor )
检测器材质	检测器: SUS316L复合电解研磨(表面粗糙度Rmax. 0.7μm以下) 传感器: SUS316、kovar ( ni、co合金)、氧化铝陶瓷、金焊、 镀镍的组合 金属表面机处理( BA ) 密封:主体部金属o形圈( PTFE被复) 传感器部SUS316
He泄漏性能	1×10-10 PAM/s以下

高低温传感器
复盖高温用zui高550℃、低温用低-196℃的热流量计。
有高温用TH-3200和低温用TH-3300的检测器。

形式	TH-3200战斗机	TH-3300战斗机
外观
特点类型	插入型、高温低压用	插入型、低温低压用
配管口径	65A ~ 1500A
使用温度范围	0 ~ 550℃	-196 ~ 0℃
zui高使用压力	0.1MPa
流量范围	小:空气0~60m/h ( nor ) 大值:空气0~388900 m/h ( nor )
检测器材质	检测器: SUS304、SUS316、SUS316L 传感器: SUS316L

组合转换器

形式	TRX-600战斗机	TRX-700战斗机	TRX-900战斗机
外观
可组合 传感器	TH-1100战斗机 TH-1200战斗机 TH-1400战斗机 TH-1700战斗机 TH-1800战斗机 TH-1100-HQ TH-1500-HQ TH-3200战斗机 TH-3300战斗机 th-1100战斗机 th-3200战斗机	TH-1100战斗机 TH-1200战斗机 TH-1400战斗机 TH-1700战斗机 TH-1800 TH-1100-HQ TH-1500-HQ
特点	一般类型 现场挂载	智能类型 室内面板安装	智能类型 现场挂载
外壳结构	相当于IP65	相当于IP20	相当于IP54
显示	上段:瞬时流量6位LED 下段:累计流量8位LED	上段:瞬时流量5位LCD 下段:累计流量7位LCD
输出	模拟: DC4 ~ 20mA 累计脉冲:开路集电极 数字: RS-485
搭载功能	标准:自我诊断功能 可选:温度补偿	标准:自我诊断功能 选购件:温度压力补偿
电源	a c100、110、115 v±10 % AC 200、220、240 v±10 %	AC90~264V 50/60Hz
精度	2.0% F.S.±1digit	1.0% F.S.±1digit

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