PDMS等离子键合-等离子刻蚀-赛奥特（北京）科技有限公司

详细介绍

　　一、技术特点：

　　1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用、防腐容易清洁。

　　2.仪器实现了手动，自动两种模式任意切换的工作方式，方便用户实验

　　3.仪器实现了程序化设计，预先编辑好程序，仪器可以自动完成实验

　　4.无需任何耗材使用成本低，无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可

　　5.电容式等离子激发，处理效果均匀，激发电极板内置样品仓内顶部悬挂

　　6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染

　　7.采用高频13.56Mhz射频电源,扫频自动匹配，稳定可靠，具有自动保护功能。

　　8.灵活的参数设置和修改功能，可适应多种处理工艺。

　　9.实时检测和显示样品仓的真实真空度，具有1Pa的真空分辨率，能够方便的接入MFC气体流量控制仪，实现对气体流量和真空度的精准控制和监测。

　　10. 液晶屏+薄膜数字按键控制方式，操作直观简单稳定可靠。

　　11.样品为粉末或者细微小颗粒的时候，选择转鼓等离子清洗机是您正确的选择，当然还可以处理一些液态物质，例如一些植物叶片的提取液。

　　二、技术规格参数

型号：SAT-5D	品牌：赛奥特（SAT）
不锈钢/石英舱体	Φ150 mm×L255mm 可以选配石英转鼓用来处理微颗粒以及粉末
工作气路	两路，可以选配MFC控制
射频频率	13.56MHz
射频功率	0-150W，可调，扫频自动匹配
控制系统	液晶屏+薄膜数字按键，实时显示和检测舱内真空度值
时间范围	0—99分59秒连续可调
工作压力	样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节
工作气体	空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可
进气压力	空气：常压连接气体钢瓶：0.1-0.3Mpa
工作模式	手动模式和程序化自动模式
真空泵	抽速：1升到5升每秒
输入电源	~220V／50Hz
整机尺寸（DWH）	552X590X295mm
重量（约）	28Kg